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本发明涉及扫描隧道显微镜技术领域，特别是一种新型微尖端面阵列器件。由夹持框架（１）、支撑膜（２）、悬臂梁（３）微尖端（７）四个部分组成。夹持框架（１）用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护；支撑膜（２）用于支撑悬臂梁结构...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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