光学膜厚在线测量折射率的方法技术

本发明专利技术涉及一种光学膜厚在线测量折射率的方法，该方法利用计算机对膜层的实时折射率进行在线测量，并利用实时折射率值对监控电压信号的理论变化曲线进行修正，当镀膜曲线进行到峰值点或谷值点的时候，自动计算出实时折射率，修正停止点电压值和理论曲线，并将实时折射率显示在屏幕上。从而可以剔除蒸镀过程中各种随机的不可控因素对监控信号的影响，准确地计算和控制蒸镀停止点，同时，可以直观、精确地显示观察蒸镀情况的理论曲线和实际曲线的实时变化，还可以对镀件蒸镀的工艺条件和环境各项因素进行改进和调整，改善光学镀膜人机系统诸要素对镀膜工艺质量的保障水平。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学镀膜监控
，特别是一种。
技术介绍
目前在光学镀膜中，一般采用光学监控系统进行镀膜膜厚的监测和控制，即由光源系统发出的光束经过调制、准直、分光，投射到比较片上，再将比较片反射的膜厚光信号投在受光器上，经过光电转换，获得带有膜厚信息的电压信号。监测时由人工观察电压信号仪表，当电压表针摆动到某一极值时，即认为达到了膜厚要求而停止蒸镀。但是，由于镀膜机内的温度、真空度及蒸镀速率等各种随机因素的影响，监测电压信号并不能准确的反映镀膜膜厚的变化。况且，在光学镀膜监控过程中，即便是同样的膜料同样的层系在多次蒸镀中的信号变化也是不一样的。因此，利用电压信号峰值作为蒸镀停止点的电压值来控制镀膜厚度，难以保证蒸镀停止点的准确性，由此造成镀膜膜厚精度低、镀件质量差。同时，由于靠人工操作，其蒸镀停止点的判定也完全凭操作者的经验，因而也使镀膜质量无法得到可靠的保证。对于这一问题，国内外尚没有较好的技术解决方案。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种利用计算机对膜层的实时折射率进行在线测量，实现准确确定蒸镀停止点，精确控制镀膜膜层厚度，提高镀膜质量的。为实现上述目的，本专利技术的折本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学膜厚在线测量折射率的方法，其特征在于：它包括以下步骤：（１）、按照ＴＦＣａｌｃ和ＥｓｓｅｎｔｉａｌＭａｃｌｅｏｄ软件程序将工艺参数输入到光学膜厚控制器的计算机中，形成计算机操作的镀膜软件工艺文件；（２）、由计算机 软件工艺文件自动生成监控电压信号变化的理论镀膜曲线，并在蒸镀开始后显示在计算机屏幕上；（３）、在开始蒸镀之前，计算机根据蒸镀工艺设置监控波长值，并发送命令至分光器调整到位；（４）、在镀膜机的真空系统准备完成以后，按照软件工艺 文件程序开始执行蒸镀操作；（５）、计算机根据蒸镀工艺设置监控信号放大增益，并发送命令...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵升林，孙龙，菊池和夫，
申请(专利权)人：河南中光学集团有限公司，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]