下载光学膜厚在线测量折射率的方法的技术资料

文档序号:2581606

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本发明涉及一种光学膜厚在线测量折射率的方法,该方法利用计算机对膜层的实时折射率进行在线测量,并利用实时折射率值对监控电压信号的理论变化曲线进行修正,当镀膜曲线进行到峰值点或谷值点的时候,自动计算出实时折射率,修正停止点电压值和理论曲线,并将...
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