图案检视中偶生缺陷的验证制造技术

本发明专利技术披露一种用于验证电路图案中缺陷的系统与方法，其包括在自动化检视部件处识别候选缺陷之后将多个类似的电路图案供应至缺陷验证部件；将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；以及回应于给定候选缺陷在至少两个电路图案上实质对应的位置处重现而标记候选缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于对诸如电路之类的图案进行自动化光学检视的系统 与方法，更具体的说，是涉及用于减少在检视期间所检测到的候选缺陷数 量的系统与方法。
技术介绍
电路(例如印刷电路板、互连装置与平板显示器)的制造通常包括自动 化光学检视操作。自动化光学检视通常识别一系列的候选缺陷，包括实际 缺陷与虚假缺陷。在自动化光学检视之后，将包含电路图案的面板供应至验证台，于此处fH古候选缺陷，然后将其识别为实际缺陷或为虚假缺陷。 如有可能，将修复实际缺陷。虚假缺陷包括，例如，随机虚假缺陷与重现虚假缺陷。随机虚假缺陷 包括，例如，灰尘与氧化。重现虚假缺陷包括，例如，贯穿一批受检视的 图案而重复的几何图案不规则性。尽管重现虚假缺陷偏离理想图案而被检 测为缺陷，但其偏差不足以被归类为需要后续修复的实际缺陷。在手动缺陷验证期间，将许多的候选缺陷快速地归类为虚假缺陷，例 如，几何形状偏差。在手动验证期间，其它候选缺陷需要额外的时间，以 便决定其是否是随机缺陷或重现缺陷。某些随机缺陷，例如短路，甚至需 要更多的额外时间来完成缺陷修复。
技术实现思路
本专利技术希望提供一种用于验证图案中的候选缺陷改进的方法，例如， 包含设置于基板面板上电路部分的图案。本专利技术一方面是关于用于评估候选缺陷的系统与方法，其避免在缺陷验证操作期间评估重现虚假缺陷。本专利技术另一方面是关于记录虚假缺陷的位置以及记录用于评估候选 缺陷的时间间隔中的至少一项。在验证后续图案的候选缺陷期间使用已记 录的信息，以避免对重现虚假缺陷进行不必要的评估。本专利技术另一方面是关于一种用于制造电路的方法，其中将电路之一部 分形成于基板上，并对该基板进行自动光学检视。评估候选缺陷，以决定 其是实际缺陷还是虚假缺陷。该评估操作避免对多个电路基板中重现的虚 假缺陷进行评估。根据本专利技术之一具体实施例，因而提供一种用于验证电路图案中缺陷 的方法，其包括在自动化检视部件处检视多个类似的电路图案以检测出候选缺陷之后将上述这些电路图案供应至缺陷验证部件；指示候选缺陷的位 置；以及在该缺陷验证部件处评估至少部分所指示的位置，以决定候选缺 陷是否是实际缺陷；以及避免评估至少一个重现虚假缺陷。在制造印刷电 路板与其它电路期间，将此方法用作检视操作的部分。根据本专利技术之另一具体实施例，因而提供一种用于检视电路中缺陷的 系统，该系统包括至少一个自动化检视设备，其可操作以自动检视电路 基板中的缺陷并指示候选缺陷在基板上的位置；重现缺陷标记器，其可操 作以接收多个电路候选缺陷的指示，并且标记在多个电路中重现的候选缺 陷位置上；以及至少一个验证设备，其接收未被标记为重现候选缺陷的候 选缺陷的上述这些指示。附图说明详读上文中详细说明并参照附图将可更明白本专利技术，其中图l是根据本专利技术一具体实施例说明用于检视电路基板中缺陷的系统 的简化方框图2是根据本专利技术之一具体实施例用于验证缺陷的方法的简化流程图3是用于产生图2所示方法中所用的虚假缺陷屏蔽方法的简化流程图4是说明图2所示方法的操作的简化图形。主要元件标记说明10系统12电路基板14自动化光学检视(AOI)系统15候选缺陷档案16验证设备18已受AOI检视的电路20缺陷服务器22缺陷验证档案24已标记的候选缺陷服务器26标记器数据产生器28已标记非缺陷数据文件30已更新的候选缺陷档案40方法50方法60图像参考62所获取之图像64所获取之图像66所获取之图像72候选缺陷档案74候选缺陷档案76候选缺陷档案80 重现缺陷屏蔽 82 导体具体实施例方式参照图l ，其根据本专利技术一具体实施例说明用于检视电路基板12中的 缺陷之一系统10的简化方框图。系统10包括至少一个自动化检视设备，其 具有，例如，至少一个自动化光学检视(AOI)系统14;以及验证设备16， 其具有至少一个验证台。验证设备可包括，例如，手动操作验证台与具有 自动验证功能的验证台中的至少一项。电路基板12包括，例如，使用任何 适当的电路制造程序沉积于基板表面上的金属部件。本文所用的术语"电 路"指任何适当的电路或电路的一部分，包括但不限于印刷电路板、球栅 格阵列基板、多芯片模块、集成电路、平板显示器以及其它适当的图案化 基板。例如在电路制造期间，AOI14可操作以获取电路基板12的图像，并且 检视上述这些图像以识别沉积于(例如)基板表面上的电路图案中的候选缺 陷。对于每一块受检视的电路，由AOI系统14输出候选缺陷档案15，其指 示候选缺陷在基板12上的个别位置。候选缺陷档案15通常包括实际缺陷以 及实际上是误检测的缺陷，即被错误地决定为缺陷的非缺陷。验证台16接收已受AOI检视的电路18以及对应的候选缺陷档案。验证 台16提供缺陷验证功能，其中将候选缺陷评估并验证为，例如实际缺陷或 误检测。在图l中，可看出，系统10包括多个AOI系统14以及多个验证台16,全 部用于处理多个制造中电路基板12之检视与缺陷验证。透过缺陷服务器20 将候选缺陷档案15传递至验证台16，服务器20可操作以将给定的电路基板 12与其对应的候选缺陷档案15相关。然而，应注意，系统10可包括至少一 个A0114，其将候选缺陷档案15直接传递至验证台16,在此种情形下，可 省去缺陷服务器20。一般而言，AOI系统的功能是熟知的，并且多个适当的AOI系统很容易购买。适当AOI系统包括，例如但不限于，InFineXTM、 Inspired SpironTM、 V-30()W以及DISCOVERYTm AOI系统，上述这些皆可从以色列Yavne的 Orbotech有限公司获得。缺陷验证系统的功能是熟知的，并且适当系统也很容易买到。适当的 验证设备包括，例如，可从以色列Yavne的Orbotech有限公司买到的VRSTM 系列验证台。根据本专利技术之一具体实施例，缺陷验证设备16包括显微镜以 及可自动移动的平台。该平台将候选缺陷在基板上的位置自动置于显微镜 下供操作人员进行缺陷验证。使用自动(即已计算机化，无需操作人员干预) 缺陷验证的验证系统可单独使用，或用于补充以操作人员为主的验证。美 国专利申请案第10/793，224号中说明一种适当的自动验证台，其标题为"使用反射与荧光图像来检视电路之系统与方法"，其于2004年3月5日申请， 该案披露内容全文并入本文中，并转让给以色列Yavne的Orbotecli有限公 司。根据本专利技术之一具体实施例，在验证之前更新候选缺陷档案15,以便 将至少部分缺陷标记为具有对应于重现误检测之高可能性。因而，例如， 对满足将其分类为误检测的预定标准的重现非随机候选缺陷进行适当标 记。对适当标记为对应于重现误检测的候选缺陷不执行验证。"标记"可能 实际上标记不需要执行进一步验证的候选缺陷。或者，"标记"可能标记需 要执行进一步验证的候选缺陷，而不标记需避免进一步验证的候选缺陷。有多种措施可将给定候选缺陷识别为重现误检测。适当措施包括，例 如，以下各项组合中的至少一项该候选缺陷在一批欲受检视基板中的各 基板当中的位置(例如以确保该缺陷非为随机的)、用于评估给定缺陷为真 实或虚假所需的时间间隔(通常实际缺陷需要较长的时间间隔，因其还需修 复，而此需要时间的操作)以及缺陷类型。根据本专利技术之一具体实施例，由 AOI 14提供缺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于验证电路图案中缺陷的方法，其特征是包含：　　　　在自动化检视部件处识别候选缺陷之后，将多个类似的电路图案供应至缺陷验证部件；　　　　将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；以及　　　　回应于给定候选缺陷在至少两个电路图案上实质对应的位置的重现而标记候选缺陷。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：杰可伯尼迪维，
申请(专利权)人：以色列商奥宝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：IL[以色列]