一种光学装置包含一固持一工件的架座。一由复数个光学头形成的阵列将各自辐射图案投射至该工件上。一校正总成撷取该等各自图案的影像。一上面安装有该校正总成的运动总成在该等光学头的该阵列与该架座间的复数个不同位置之间输送该校正总成，以在各该不同...

本发明提供一种用于微加工一材料的方法，其包含：配置一光学系统，以通过该光学系统的一给定元件对一部位提供处于一照明波长的照明，该照明从该部位产生返回辐射。该方法进一步包含：配置该光学系统，以通过该给定元件接收返回辐射，并据此形成该部位的一...

本发明提供一种以多个不同照射组态扫描一表面的方法，包括下列步骤：于单一扫描期间依序撷取多个影像，各影像包含至少一行画素（ｐｉｘｅｌ）；根据用以撷取各影像的照射组态的预定序列以及成像单元的预定相对位移，依序改变用以撷取影像的照射组态；以及...

本实用新型揭露一种用于各种形状及/或尺寸的工件的真空固定装置及真空台遮罩。该真空固定装置包括真空固定台以及真空台遮罩。真空固定台在其支撑表面上排列有真空孔口阵列。真空台遮罩在其上面形成有至少两个孔阵列，这些孔阵列相互偏置，所述至少两个孔...

本实用新型揭露一种适用于修复电路的施体基板总成，以修复电路的缺陷。该施体基板总成包括施体基板以及施体基板支撑基座，该施体基板支撑基座设置成使施体基板保持与电路上的至少一个导体修复区域相距预定的垂直间距。

本发明揭露一种用于各种形状及/或尺寸的工件的真空台遮罩、真空固定装置及工件真空固定到其上的方法，其中，真空固定台界定遮罩支撑平面。有孔的真空台遮罩可选择性地定位在所述遮罩支撑平面上，所述真空固定台及所述真空台遮罩被构造成通过在所述遮罩支...

本发明提供一种用以测试一基板上的微电子组件的装置，包含：一扫描器，根据依序逐一扫描方式，利用一光束扫描设置在一平面显示器基板上的多个薄膜晶体管上，并根据依序逐一感应方式，在该多个薄膜晶体管中感应出一光电导通回应；一电流感应电路，是与该扫...

本发明提供一种平面倾斜装置，包含：可选择地定位的平面元件总成，其界定具有平面的平面元件及界定枢轴位置部，该枢轴位置部相对于该平面实质上居中；枢轴支撑元件，其可枢转地啮合该枢轴位置部；电磁铁，其相对于该枢轴支撑元件固定，并配置成沿实质上垂...

本发明涉及一种于一基板（４４）中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：操作一激光（２２），以产生一单一输出光束（２４），该单一输出光束（２４）的多个脉波具有一总能量；以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束（４１）；以及施加该多...

本发明是关于一种光学系统，包含：多个选择性引导面镜（３８），分别被设置用以引导激光束（４１）至场域内的可选择的位置；多个面镜方位传感器（４５），用以感测所述多个选择性引导面镜的方位并提供多个面镜方位输出；以及自动校准子系统（４７），用以...

本发明提供一种用于微加工一材料的方法，其包含：配置一光学系统，以通过该光学系统的一给定元件对一部位提供处于一照明波长的照明，该照明从该部位产生返回辐射。该方法进一步包含：配置该光学系统，以通过该给定元件接收返回辐射，并据此形成该部位的一...

一种适于自动检测及修补印刷电路板的装置及方法，其包含检测装置、自动修补装置以及自动修补再形成装置。检测装置是用以自动检测印刷电路板并提供待修补区域上的机器可读指示。自动修补装置是在至少部分待修补区域上，利用机器可读指示以修补印刷电路板。...

一种用以检视具有显微导体的图样成型装置的检视系统，包含：照相机，用以在图案基板上察看候选损坏的位置，该基板划定平面，并在那里撷取该位置至少一处图像，该照相机定义光学轴，该至少一处图像以偏移该光学轴至少一个光源的照明所照射，该照明沿着相对...

本发明提供一种光学元件，其包含整体式非圆形对称的光学透射性材料件，其具有至少第一及第二表面，以用于将来自光源的光聚集至线性目标区域上，使得所述第一及第二表面中的至少之一为曲面，且使得所述光的第一部分通过自所述第一表面反射而聚集至所述线性...

本发明提供一种用于电路装置的光学检验系统，包含：光学检验功能，其提供在所检验电路装置上至少一区域的光学检验输出；算法检验功能，其提供所述至少一区域的算法检验输出，所述算法检验输出指示在所述至少一区域处存在可能的缺陷；显示器，其根据所述光...

本发明披露一种用于验证电路图案中缺陷的系统与方法，其包括在自动化检视部件处识别候选缺陷之后将多个类似的电路图案供应至缺陷验证部件；将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；以及回应于给定候选缺陷在至少两个电路图案上实质对应的位置处...