一种半导体热板光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体热板加工技术领域，公开了一种半导体热板光刻装置，包括机台，所述机台顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨，导轨上活动连接有自行走底座，自行走底座上部中间位置竖直向上固定连接有气缸，气缸的活塞杆上端面与支臂首端固定连接，支臂尾端底部竖直向下固定连接有激光刻头。本实用新型专利技术通过硅板在传输带上等距离分布，两个电动推杆带动横板下降，直至横板前侧的连接板上的定位框贴合在传输带上，此时定位框通过定位凸块将传输带上的硅板进行卡住固定，避免现有技术中仅仅将硅板放置在传输带上导致光刻时硅板发生晃动的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体热板光刻装置
本技术涉及半导体热板加工
，具体为一种半导体热板光刻装置。
技术介绍
目前，半导体热板光刻装置是通过红外激光，将半导体热板表面薄膜的特定部分除去的工艺。在此之后，半导体热板表面会留下带有微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程，最终在半导体热板表面上保留的是特征图形部分。经检索公开(公告)号CN206057798U公开了一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座、第一频率控制器、第二频率控制器、支撑柱、第一电动伸缩杆、皮带输送机、半导体热板、固定卡扣、第二电动伸缩杆、固定外壳体、红外激光雕刻头和滚轮，所述支撑柱的上端与第一电动伸缩杆固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部通过固定卡扣与红外激光雕刻头固定连接；所述固定外壳体内固定有皮带输送机；所述皮带输送机的输送皮带上固定有半导体热板；所述支撑底座的下端四周设置有四个滚轮。虽然该技术的有益效果是工作效率高，自动化程度高，光刻效果好，上料便捷，光刻效率高、拆卸安装便捷和移动使用便捷。但是经本专利技术人探索发现该技术方案仍然存在至少以下缺陷：该技术方案仅仅将硅板放置在传输带上导致光刻时硅板发生晃动的情况。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体热板光刻装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体热板光刻装置，包括机台，所述机台顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨，导轨上活动连接有自行走底座，自行走底座上部中间位置竖直向上固定连接有气缸，气缸的活塞杆上端面与支臂首端固定连接，支臂尾端底部竖直向下固定连接有激光刻头；所述机台上部前侧设置有配套的传输带，位于所述机台左右两侧中部均竖直向上固定连接有电动推杆，两个所述电动推杆的上端部均与同一块横板底部首尾两端固定连接，横板前侧壁水平固定连接有多块等距分布的连接板，多块所述连接板远离所述横板的一端部均固定连接有定位框，定位框上部内侧均一体化固定连接有四个呈矩阵分布的定位凸块，多块等距分布的定位框分布在传输带上，位于所述定位框内侧的传输带上均放置有硅板。作为本技术的一种优选实施方式，所述激光刻头与硅板竖直对齐。作为本技术的一种优选实施方式，所述定位凸块的厚度是定位框厚度的三分之一。作为本技术的一种优选实施方式，所述定位框为铝合金框板。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术通过硅板在传输带上等距离分布，两个电动推杆带动横板下降，直至横板前侧的连接板上的定位框贴合在传输带上，此时定位框通过定位凸块将传输带上的硅板进行卡住固定，避免现有技术中仅仅将硅板放置在传输带上导致光刻时硅板发生晃动的情况，然后气缸带动支臂下降从而带动激光刻头下降对硅板进行光刻，并且激光刻头可以通过自行走底座在导轨上移动，从而可以对下一个硅板进行光刻。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种半导体热板光刻装置的整体结构示意图；图2为本技术一种半导体热板光刻装置的横板与电动推杆分布侧视结构示意图；图3为本技术一种半导体热板光刻装置的定位框立体结构示意图。图中：1、机台；2、电动推杆；3、传输带；4、定位框；5、硅板；6、连接板；7、激光刻头；8、支臂；9、气缸；10、自行走底座；11、导轨；12、横板；13、定位凸块。本技术中的仪器均可通过市场购买和私人定制获得。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种半导体热板光刻装置，包括机台1，机台1顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨11，导轨11上活动连接有自行走底座10，自行走底座10上部中间位置竖直向上固定连接有气缸9，气缸9的活塞杆上端面与支臂8首端固定连接，支臂8尾端底部竖直向下固定连接有激光刻头7；机台1上部前侧设置有配套的传输带3，位于机台1左右两侧中部均竖直向上固定连接有电动推杆2，两个电动推杆2的上端部均与同一块横板12底部首尾两端固定连接，横板12前侧壁水平固定连接有多块等距分布的连接板6，多块连接板6远离横板12的一端部均固定连接有定位框4，定位框4上部内侧均一体化固定连接有四个呈矩阵分布的定位凸块13，多块等距分布的定位框4分布在传输带3上，位于定位框4内侧的传输带3上均放置有硅板5。本实施例中，激光刻头7与硅板5竖直对齐。本实施例中，定位凸块13的厚度是定位框4厚度的三分之一。本实施例中，定位框4为铝合金框板，散热性好。在一种半导体热板光刻装置使用的时候，需要说明的是，本技术为一种半导体热板光刻装置，包括1、机台；2、电动推杆；3、传输带；4、定位框；5、硅板；6、连接板；7、激光刻头；8、支臂；9、气缸；10、自行走底座；11、导轨；12、横板；13、定位凸块，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。使用时，硅板5在传输带3上等距离分布，两个电动推杆2带动横板12下降，直至横板12前侧的连接板6上的定位框4贴合在传输带3上，此时定位框4通过定位凸块13将传输带3上的硅板5进行卡住固定，避免现有技术中仅仅将硅板5放置在传输带3上导致光刻时硅板5发生晃动的情况，然后气缸9带动支臂8下降从而带动激光刻头7下降对硅板5进行光刻，并且激光刻头7可以通过自行走底座10在导轨11上移动，从而可以对下一个硅板5进行光刻。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体热板光刻装置，包括机台(1)，其特征在于：所述机台(1)顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨(11)，导轨(11)上活动连接有自行走底座(10)，自行走底座(10)上部中间位置竖直向上固定连接有气缸(9)，气缸(9)的活塞杆上端面与支臂(8)首端固定连接，支臂(8)尾端底部竖直向下固定连接有激光刻头(7)；/n所述机台(1)上部前侧设置有配套的传输带(3)，位于所述机台(1)左右两侧中部均竖直向上固定连接有电动推杆(2)，两个所述电动推杆(2)的上端部均与同一块横板(12)底部首尾两端固定连接，横板(12)前侧壁水平固定连接有多块等距分布的连接板(6)，多块所述连接板(6)远离所述横板(12)的一端部均固定连接有定位框(4)，定位框(4)上部内侧均一体化固定连接有四个呈矩阵分布的定位凸块(13)，多块等距分布的定位框(4)分布在传输带(3)上，位于所述定位框(4)内侧的传输带(3)上均放置有硅板(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体热板光刻装置，包括机台(1)，其特征在于：所述机台(1)顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨(11)，导轨(11)上活动连接有自行走底座(10)，自行走底座(10)上部中间位置竖直向上固定连接有气缸(9)，气缸(9)的活塞杆上端面与支臂(8)首端固定连接，支臂(8)尾端底部竖直向下固定连接有激光刻头(7)；
所述机台(1)上部前侧设置有配套的传输带(3)，位于所述机台(1)左右两侧中部均竖直向上固定连接有电动推杆(2)，两个所述电动推杆(2)的上端部均与同一块横板(12)底部首尾两端固定连接，横板(12)前侧壁水平固定连接有多块等距分布的连接板(6)，多块所述连接板(6)远离所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏进，
申请(专利权)人：扬州国润半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32