温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体热板加工技术领域，公开了一种半导体热板光刻装置，包括机台，所述机台顶部后侧延其长度方向固定连接有导轨，导轨上活动连接有自行走底座，自行走底座上部中间位置竖直向上固定连接有气缸，气缸的活塞杆上端面与支臂首端固定连接，支臂尾...
该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。