【技术实现步骤摘要】
一种硅片翘曲度测试装置
本技术涉及一种硅片翘曲度测试装置,属于集成电路或分立器件芯片制造
技术介绍
半导体功率器件在实现背面电极时需要对硅片进行减薄,为追求更低的功耗,减薄后的硅片越来越薄。减薄后的硅片需要对其翘曲度进行精密测量并对测量过程进行监控。目前主要有三种测试方法:1)C200B厚度测试仪,利用上下两个电容探头,根据电容值与距离成反比的关系运算得到硅片各点高度,从而得出翘曲度;2)粗糙度测试仪,利用探针在硅片表面滑动,使得与探针相连的铁芯切割磁场产生感应电流,并通过模数转化及运算处理得出翘曲度;3)塞尺,测试翘曲硅片边缘翘起的高度,粗略得出翘曲度。上述三种方法中,厚度测试仪测试翘曲度的数值最为准确,但测试时硅片放置的平台中间镂空且边缘只有三个针支撑,硅片会因为自身重力而使得平台下凹,且测试量程较小,对翘曲程度较大的硅片无法测试。粗糙度测试仪测试的方法为探针接触式,易损伤硅片表面,且测试区域较小,无法反应整片硅片翘曲度。而塞尺测试的准确性较差,且测试也较不方便,测试结果受人的因素影响较大。因此,需要一种更为实用且有效的方法对硅片的翘曲进行测试。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种硅片翘曲度测试装置,不仅测试精度高,测试量程大;而且测试流程便捷,提高测试效率。本技术解决上述问题所采用的技术方案为:一种硅片翘曲度测试装置,包括用于设置待测硅片的承片台和传感器,所述承片台滑动设于测量座的平台上,便于调整承片台相对测量座的位置;所述承片台正上方设有 ...
【技术保护点】
1.一种硅片翘曲度测试装置,其特征在于:包括用于设置待测硅片的承片台(4)和传感器,所述承片台(4)滑动设于测量座的平台(1.1)上,便于调整承片台(4)相对测量座的位置;所述承片台(4)正上方设有测距传感器,所述测量座的立柱(1.2)上设置固定支架(3),所述传感器设于固定支架(3)上,传感器对硅片表面的高度进行测试;所述传感器与其配套的控制器(5)电连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅片翘曲度测试装置,其特征在于:包括用于设置待测硅片的承片台(4)和传感器,所述承片台(4)滑动设于测量座的平台(1.1)上,便于调整承片台(4)相对测量座的位置;所述承片台(4)正上方设有测距传感器,所述测量座的立柱(1.2)上设置固定支架(3),所述传感器设于固定支架(3)上,传感器对硅片表面的高度进行测试;所述传感器与其配套的控制器(5)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片翘曲度测试装置,其特征在于:所述承片台(4)底部对称设有若干滑片。
3.根据权利要求2所述的一种硅片翘曲度测试装置,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚宇科,李天鹏,孙斌,虞登恒,石坚,
申请(专利权)人:江阴新顺微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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