一种水电阻率探头的安装结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种水电阻率探头的安装结构，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括U型连接接头，所述U型连接接头两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方，所述U型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管连接，所述U型连接接头另一接口与水电阻率探头接头连接，所述水电阻率探头接头内设置水电阻率探头。所述连接管、U型连接接头和水电阻率探头接头分别为PVC材质制成件。本申请增加了水流过水电阻率探头时的流速，提高了水电阻率探头测试反应快速和准确性；能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控，防止有冲水不彻底、化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种水电阻率探头的安装结构
本技术涉及一种水电阻率探头的安装结构，属于集成电路或分立器件芯片制造

技术介绍
半导体晶圆湿法清洗工艺属于比较成熟的工艺，在整个半导体制造过程中需要多次经过湿法清洗，清洗质量直接关系到产品的质量情况，对于清洗质量的判断一般有表面颗粒数量、化学试剂是否冲洗干净等，一旦表面残留有化学试剂，后续的高温步会将残留物质扩散进晶圆，从而导致产品器件的参数不良等。对于清洗工艺主要使用各类化学试剂对晶圆表面进行处理，在采用化学试剂处理后，需要使用高纯去离子水(电阻率≥15MΩ·cm)对化学试剂进行冲洗，对冲洗的效果一般测试QDR槽溢出水的水阻情况来判定。测试QDR槽出水水电阻率的方式一般采用水电阻率测试探头和水阻仪配合。一般水电阻率探头安装在QDR槽的边缘，这种安装方法的不足之处在于：1、水电阻率探头的水压较小，经过探头的水量少。2、水电阻率探头的水量较少或流速偏慢，会导致水电阻率探头不能真实反映水的电阻率情况。综上，水电阻率测试探头的安装直接导致是否可以准确对纯水电阻率进行测试和能否反馈出真实的冲洗效果情况。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种水电阻率探头的安装结构，不仅结构简单，能够反馈出接近真实的水电阻率，提高测试的准确性。本技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种水电阻率探头的安装结构，包括U型连接接头，所述U型连接接头两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方，所述U型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管连接，所述U型连接接头另一接口与水电阻率探头接头连接，所述水电阻率探头接头内设置水电阻率探头。所述连接管、U型连接接头和水电阻率探头接头分别为PVC材质制成件。所述连接管包括L型连接接头和直管，所述直管竖向设置，且所述直管一端与L型连接接头连接，另一端与U型连接接头连接。与现有技术相比，本技术的优点在于：一种水电阻率探头的安装结构，QDR槽内的水经QDR外槽出水口溢出后，经过连接管向下落差流动，在U型连接接头的U型区域使得水流掉头向上时流经水电阻率探头，大大增加了水流过水电阻率探头时的流速，提高了水电阻率探头测试反应快速和准确性；能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控，防止有冲水不彻底、化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。附图说明图1为本技术实施例一种水电阻率探头的安装结构的示意图；图中1QDR外槽出水口、2连接管、2.1L型连接接头、2.2直管、3U型连接接头、4水电阻率探头接头、5水电阻率探头。具体实施方式以下结合附图实施例对本技术作进一步详细描述。如图1所示，本实施例中的一种水电阻率探头的安装结构，包括PVC材质的U型连接接头3，U型连接接头3两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口1下方，U型连接接头3一接口与QDR外槽出水口1通过PVC材质制成的连接管2连接，U型连接接头3另一接口与水电阻率探头接头4连接，水电阻率探头5设置于水电阻率探头接头4内。上述连接管2包括L型连接接头2.1和直管2.2，直管2.2竖向设置且直管2.2一端与L型连接接头2.1连接，另一端与U型连接接头3连接。本申请中水电阻率探头5与QDR外槽出水口1之间形成高度落差，QDR槽内的水经QDR外槽出水1溢出后，经过连接管2向下落差流动，在U型连接接头3的U型区域使得水流掉头向上时流经水电阻率探头5，大大增加了水流过水电阻率探头时的流速，提高了水电阻率探头测试反应快速和准确性；能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控，防止有冲水不彻底、化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。除上述实施例外，本技术还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本技术权利要求的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水电阻率探头的安装结构，其特征在于：包括U型连接接头(3)，所述U型连接接头(3)两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口(1)下方，所述U型连接接头(3)一接口与QDR外槽出水口(1)通过连接管(2)连接，所述U型连接接头(3)另一接口与水电阻率探头接头(4)连接，所述水电阻率探头接头(4)内设置水电阻率探头(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种水电阻率探头的安装结构，其特征在于：包括U型连接接头(3)，所述U型连接接头(3)两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口(1)下方，所述U型连接接头(3)一接口与QDR外槽出水口(1)通过连接管(2)连接，所述U型连接接头(3)另一接口与水电阻率探头接头(4)连接，所述水电阻率探头接头(4)内设置水电阻率探头(5)。


2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕伟，钱如平，蒋亚东，周晓，
申请(专利权)人：江阴新顺微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32