湿度传感器制备方法及以此制备方法制备的湿度传感器技术

技术编号:2572964 阅读:175 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是关于一种湿度传感器制备方法及以此制备方法制备的湿度传感器,尤指一种可简化制造程序、可提升制程安全性并可制造出一在长期处于高湿度环境后仍可正常运作的湿度传感器的制备方法。此方法包括下列步骤:提供一基板;形成二焊垫于此基板的表面;形成二组分别与此二焊垫电性连接的电极于此基板的表面;以及形成一覆盖于此二组电极的部分及此基板的部分表面的湿度感测膜。其中,此湿度感测膜是由一湿度感测材料溶液经一成膜程序而形成,且此湿度感测材料溶液是由聚苯乙烯磺酸盐与羟烷基纤维素经一混合程序而形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于—种湿度传感器制备方法及以此制备方法制备的湿度传感器,尤指一种可简化制造程序、可提升制程安全性并可制造出一在长期处于高湿度环境后仍可正常运作的湿度传感器的制备方法。冃旦 足技术图1是己知的湿度传感器的示意图,其显示已知的湿度传感器1包括基板11 ; 二个位于基板1 1的表面111的焊垫121 、 122 ; 二组位于基板11的表面111并与此二焊垫1 2 1 、1 2 2电性连接的电极131、132;以及一覆盖于此二组电极131、132的部分及此基板1 1的表面1 1 1部分区域的湿度感观'J膜14 。但是虽然构成已知的湿度传感器1的湿度感测膜i4的自水性材料对于湿度非常敏感,但这些亲水性材料对于湿度的抵抗力较差,所以已知的湿度传感奋i在长期处于咼湿度的环境后,其湿度感测膜1 4的感测材料即亲水性材料)会逐渐地流失,造成已知的湿度传感器1无法再应用于量测其所处环境的湿度值另方面,虽然可由使用亲水性的聚合物取代前述的亲水性材料的方式克服前述的感测材料逐渐流失的问题,即使用烯类单体、过氧化物等交联材料固定这些水溶性的分子即亲水性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿度传感器的制备方法,其特征在于,包括下列步骤: 提供一基板; 形成二焊垫于该基板的表面; 形成二组电极于该基板的表面,且该二组电极与该二焊垫电性连接;以及 形成一湿度感测膜,该湿度感测膜覆盖于该二组电极的部分及该基板的部分表面; 其中,该湿度感测膜是由一湿度感测材料溶液经一成膜程序而形成,且该湿度感测材料溶液是由聚苯乙烯磺酸盐与羟烷基纤维素经一混合程序而形成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:钟景浩邱韦诚陈明贤
申请(专利权)人:福华电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1