一种气敏传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种气敏传感器及其结构，包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极，根据器件结构中各薄膜层和电极位置的不同，器件可以分为顶部接触式和底部接触式两种。本发明专利技术采用的新型结构提高了气敏传感器的集成度，机构简单、操作方便、造价低、检测迅速、灵敏度高，在临床医学、发酵、食品、化工、装备和环保等方面显示了广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器
，具体涉及。
技术介绍
传感器是一种能够通过某种作用以选择性的方式对特定的待分析物质产生 响应从而对分析物质进行定性或定量测定的装置，可以用于检测特定的一种或 多种物质。气敏传感器是用于检测某种特定气敏存在的传感设备，如检测一氧化>碳、二氧化硫及乙醇等气敏。该传感器的原理是采用敏感材料薄膜，基于该材料 可以表面的气敏吸附可以导致材料中载流子浓度等特征参数发生相应的变化， 从而改变器件的电导率等参数，外围电路会把材料参数的变化转化为电信号的 变化，并放大为易被识别的的参数。目前，气敏传感器的发展趋势集中表现为1、提高灵敏度和工作性能，并 使其微型化，能够与应用整 目结合。2、增强可靠性，具备多种功能，优先发 展MEMS技术，发展现场适用的变送器和智能型传感器。当前的研究热点就是新气敏材料与制作工艺的开发和新型结构的i殳计。研制 开发新的气敏敏感膜材料，如复合型和混合型半导体气敏材料、高分子气敏材 料，使得这些新材料对不同气敏具有高灵敏度、高选择性、高稳定性。由于有 机高分子敏感材料具有材料丰富、成本低、制膜工艺简单、易于与其它技术兼 容、在常温下工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气敏传感器，包括基板、第一电极、介质层、敏感材料层、第二电极和第三电极，其特征在于，所述敏感材料层材料是以下材料中的一种或者几种：聚硅氧烷类敏感材料、聚硅碳烷类敏感材料、有机膦毒剂敏感材料、半导体陶瓷材料、聚（氧｛甲基（４－羟基－４，４－双（三氟代甲基）丁－１－烯－１－醇）亚甲基硅氧烷｝）、以六氟异丙醇为敏感基团和聚硅氧烷为骨架的材料、共聚碳硅氧烷、在寡聚二甲基硅氧烷链中引入氟代双酚基团形成的有机／无机混合型共聚物、聚吡咯、聚噻吩、聚苯胺和聚苯胺／纳米氧化物复合材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚东，于军胜，李璐，黄江，谢光忠，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]