透镜表背面的光轴偏心量的测定方法技术

技术编号:2564888 阅读:268 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及非球面透镜表背面的光轴偏心量的测定方法。利用激光探针测定在非球面透镜表背两面的各顶点的第一方向及第二方向的截面形状,以基于所测定针孔(共通基准点)的三维位置所决定的共通坐标系记述所测定的非球面透镜表背两面的截面形状。基于所测定的截面形状检测各顶点位置,以微米以下水平定量求出非球面透镜表背两面的相对偏心量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术特别涉及一种非球面。技术背景大多数非球面透镜是通过利用模的成型技术所大量生产。两面由球面-平 面或球面-球面所构成的透镜,由于在任何表面的任意点,都具有对该点法向 量旋转对称的形状,在任何面存在对其周围旋转对称的轴,且该轴为光轴。但 是,在非球面透镜中,因可旋转对称的轴的唯一性,在非球面-非球面或球面-非球面透镜的情况下,在成型时必须将两面的旋转对称轴加工成一致。因此, 为提高加工精度,定量测定非球面透镜的偏心成为必需的操作。根据利用模的成型技术,可将光轴的偏心抑制在数十微米的精度。非球面透镜的偏心测定,如现有日本专利技术专利公开公报特开平5-340838号中所公布 的那样,通过利用自动照准仪光学评价焦点图像对外周的偏移来进行。但是,这种利用现有自动照准仪的方法,不能定量评价形状误差,从而不 能从所得到结果加工修正模。并且,随着近年来非球面透镜的小型化、高NA 化的趋势,偏心允许值也要求数微米以下的水平,而利用自动照准仪的方法中 仅精度也不能达到要求。因此,有必要实际精密测定非球面透镜的表面形状, 从所获得形状数据求出非球面透镜表背两面的光轴中心和倾斜,以微米以下水 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测定方法,测定非球面透镜的表背两面的光轴偏心量,其特征在于,包括如下步骤:在具有相互定位的三个以上基准点的支架上,定位具有第一面及第二面的非球面透镜;对于所述第一面,在所述支架的第一方向及第二方向分别以规定间距测定所述第一面的一维表面形状;在测定所述第一面的一维表面形状时的所述支架的位置,测定所述第一面侧的所述基准点的第一位置;对于所述第二面,在所述支架的第一方向及第二方向分别以规定间距测定所述第二面的一维表面形状;在测定所述第二面的一维表面形状时的所述支架的位置,测定所述第二面侧的所述基准点的第二位置;基于所测定的所述第一位置及第二位置,以同一三维坐标系记述所述非球面透镜的第一面的表面形...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:中村胜重三浦胜弘
申请(专利权)人:三鹰光器株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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