【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种氦质谱检漏仪的接收器。
技术介绍
氦质谱检漏仪的主要指标灵敏度，也称最小可检测漏率。其测量方法是用一氦气标准漏孔Q。，接在检漏仪上产生的信号强度S，假设测量系统的噪声N, 那么仪器的灵敏度Q-QoXN/S。 S/N称为信噪比。同样的漏孔产生的信号越强， 灵敏度就越高，而测量系统的噪声越大，灵敏度就越低。为此，提高仪器灵敏 度的方法就是增大信号强度和降低噪声。检漏仪中除了要检测的氦离子以外，通常有真空中残余气体碰撞产生的杂 散离子或电子进入接收器，为了减少干扰，在入口处装有一抑制电极，并加上 200-400V电压。因为接收极连接的微电流放大器的反馈电阻是IO"Q，阻抗很 高，抑制极和引线上的交流纹波会通过分布电容进入接收电极，形成测量噪声。
技术实现思路
本专利技术的目的在于减少测量噪声。在我们的设计中，抑制电极的引线6从 离子源的插头进入，与接收器的其它引线分开，经过屏蔽极2侧面的小孔，插 到抑制极上。抑制电极及引线与接收极之间由屏蔽极隔离，使测量噪声由原来 3-4mv减少为不足lmv。本专利技术的另一个专利技术点是，接收电极通常用不锈钢材料制成...
【技术保护点】
一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极１及引线６、接收极３，其中抑制电极１及引线６与接收极３之间由屏蔽极２隔离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄庆文，
申请(专利权)人：北京中科科仪技术发展有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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