厚膜多维力觉阵列传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种厚膜多维力觉阵列传感器，由陶瓷应变膜片层、陶瓷基板构成，在９５％Ａｌ＜ｓｕｂ＞２＜／ｓｕｂ＞Ｏ＜ｓｕｂ＞３＜／ｓｕｂ＞陶瓷应变膜片上印烧Ｐｄ－Ａｇ导体，Ｒｕ基厚膜应变电阻、线性热敏电阻、Ｒｕ基厚膜补偿电阻，在每一个阵列点阵中构成基本的惠斯通全桥／半桥／单点电路，在大面积陶瓷应变膜片上构成多维力／力矩传感器阵列，压力传感器阵列、温度传感器阵列；陶瓷基板上下面平整，内有圆柱形通孔，呈蜂窝煤结构；陶瓷应变膜片表面和陶瓷基板基板烧结成一体；陶瓷基板下有电路线板层和固支层。本实用新型专利技术能实时采集任意测试点和面的力、力矩、压力、温度，以及测试物的压力中心、压力分布、攻角、摩擦力、动量和冲量，纵跳速度、高度、功率等等。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光机电一体化领域的新型传感器技术，具体是一种基于厚膜工艺加工的多维力觉阵列传感器。
技术介绍
厚膜压阻式力学量传感器出现于八十年代，其弹性体为高性能氧化铝瓷，厚膜应变电阻为具有压阻效应的厚膜电阻，采用厚膜工艺技术直接印制、烧结在陶瓷弹性体上。目前开发研究的多维力觉阵列传感器主要集中在压电式、真空微电子、光纤、硅微机械表面加工、导电橡胶等传感器，基本阵列数少，或者只能检测压力，产品可靠性难以保证。压电阵列传感器频响高，不合适低频和静态工作环境，电荷放大器成本高，受外在温度影响大。柔性光纤阵列触觉传感器仅能测单维力和压力，可靠性较差，组装成本居高不下。微机械加工硅触觉传感器，开发试验费用非常高，技术未成熟，成品率低，无法批量和大面积生产。导电橡胶阵列，精度低，难以定量检测。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种厚膜多维力觉阵列传感器，采用厚膜工艺技术，在大面积测试平台上制备厚膜应变电阻和热敏电阻单元，形成多维力/力矩传感器、压力传感器，温度传感器等阵列，既能实时采集任意测试点和面的力、力矩、压力、温度，以及测试物的压力中心、攻角、摩擦力、动量和冲量，纵跳速度、高度、功率等等，阵列传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
厚膜多维力觉阵列传感器，陶瓷应变膜片层、陶瓷基板下有电路线板层，固支层，其特征在于：（１）、在９５％Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］陶瓷应变膜片上印烧Ｐｄ－Ａｇ导体，Ｒｕ基厚膜应变电阻、线性热敏电阻、Ｒｕ基厚膜补偿电阻，在每一个阵列点阵中构成基本的惠斯通全桥／半桥／单点电路，在大面积陶瓷应变膜片上构成多维力／力矩传感器阵列，压力传感器阵列、温度传感器阵列，传感器点阵密度根据使用要求可以调整大小；（２）、陶瓷基板上下面平整，内有圆柱形通孔，呈蜂窝煤结构；（３）、通过中低温玻璃介质浆料将陶瓷应变膜片表面和陶瓷基板粘结，烧结形成陶瓷弹性体阵列，厚膜应变电阻处于感应弹性体应变最大区域；（４）、电路线板层，是在酚...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋箭，李文，
申请(专利权)人：合肥旭宁科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]