一种阵列型MEMS气体传感器制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种阵列型MEMS气体传感器
本专利技术设计一种阵列型MEMS气体传感器，半导体技术中的微机电系统MEMS工艺制造领域。
技术介绍
物联网技术的发展为集成化、低功耗、低成本的气体传感器带来了广泛的应用需求。工业和日常生活中实现对危险品气体，诸如CO，CO2，NO，NO2，CH4的高灵敏检测，可以避免其泄露对社会财产和公共安全造成的巨大危害。在提高传感器探测性能和便携性的同时，实现多种气体同时检测，满足物联网、复杂环境对多气体传感器的发展需求。RaeSystem公司于2002年提出将分立的红外光源、探测器、气室集成在一个TO5管壳中作为小型化的红外气体传感器，并且能够用于检测碳氢化合物HC、二氧化碳CO2、一氧化碳CO和一氧化氮NO气体浓度，但是并未实现多种气体同时检测，多种气体进行检测前需分离增加了检测的复杂度和成本。中北大学提出的一种多气体检测的红外气体传感器(201310500970.3)是将同一种的红外气体传感器集成在基底上进行检测，虽然能够同时检测多种气体，但是所有的气体传感器均是同一种，不能有效的区分检测的准确性。
技术实现思路
本专利技术针对上述现有技术中存在的不足，提供一种能够精准检测多种气体的阵列型MEMS气体传感器。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种阵列型MEMS气体传感器，包括包含读出电路的基底和设置基底上至少两个不同的呈矩阵排列的MEMS气体传感器，所述MEMS气体传感器表面涂覆渗透选择性薄膜，所述渗透选择性薄膜为二氧化硅薄膜或疏水性聚合物薄膜，孔径尺寸为5～500nm。进一步，所述MEMS气体传感器为半导体气体传感器、电化学...
【技术保护点】
一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于，包括包含读出电路的基底和设置基底上至少两个不同的呈矩阵排列的MEMS气体传感器，所述MEMS气体传感器表面涂覆渗透选择性薄膜，所述渗透选择性薄膜为二氧化硅薄膜或疏水性聚合物薄膜，孔径尺寸为5～500nm。
【技术特征摘要】
1.一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于，包括包含读出电路的基底和设置基底上至少两个不同的呈矩阵排列的MEMS气体传感器，所述MEMS气体传感器表面涂覆渗透选择性薄膜，所述渗透选择性薄膜为二氧化硅薄膜或疏水性聚合物薄膜，孔径尺寸为5～500nm。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宏臣，邱栋，
申请(专利权)人：烟台睿创微纳技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37
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