应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例涉及一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法。该拉取装置包括互相之间存在连接关系的底座、承载件、定位件、抓取件、第一电机以及第二电机。其中，底座和承载件活动连接，能够实现拉取装置的高度调节，使得抓取件与石英套管的高度一致，这样能够通过抓取件对石英套管进行水平拉取，避免拉取角度倾斜导致石英套管破损。通过控制第二电机运转，能够使得抓取件对石英套管进行稳固抓取。通过控制第一电机运转，能够带动第一转动轮转动和传送带运动，使得传送带通过定位件的结合部带动定位件沿着设置在承载件的第一承载部和第二承载部之间的导向杆运动，从而实现对石英套管的平稳、等距离拉取。

【技术实现步骤摘要】
应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法
本专利技术实施例涉及半导体器件的扩散炉检测
，具体而言，涉及一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线工序中的重要工艺设备之一。通过扩散工艺，能够将杂质元素按照设定深度掺入硅衬底中，使硅衬底具有特定的浓度分布，从而改变材料的电学特性以形成半导体。为了确保扩散工艺满足生产标准，需要对扩散炉的温度进行严格的把控。由于扩散炉的炉体需要定期更换，在更换炉体之后，需要对炉体内的石英套管进行拉取，从而通过检测石英套管内的分布热偶的温度来确定炉体的温度是否满足工艺要求。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法，能够通过拉取装置对扩散炉内的石英套管进行等距离拉取。本专利技术实施例的第一方面，提供了应用于扩散炉的拉取装置(100)，包括：底座(1)、承载件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一电机(5)和第二电机(6)；所述底座(1)和所述承载件(2)活动连接；所述承载件(2)设置有第一承载部(21)和第二承载部(22)，所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间设置有导向杆(23)；所述定位件(3)套设于所述导向杆(23)上；所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间形成的开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；所述第二电机(6)固定于所述定位件(3)并与所述抓取件(4)的所述另一端连接，以控制所述抓取件(4)对所述石英套管进行抓取；所述第一承载部(21)的外侧壁设置有第一转动轮(71)，所述第二承载部(22)的外侧壁设置有第二转动轮(72)，所述第一转动轮(71)和所述第二转动轮(72)上绕设有传送带(73)，所述传送带(73)与所述定位件(3)的结合部(31)固定连接；所述第一电机(5)设置于所述第一承载部(21)，并与所述第一转动轮(71)连接，以控制所述第一转动轮(71)转动从而带动所述传送带(73)运动，所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动。优选地，所述抓取件(4)包括连接杆(41)、第一固定板(42)和第二固定板(43)；所述连接杆(41)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；所述第一固定板(42)固定于所述连接杆(41)的所述另一端；所述第二固定板(43)套设于所述连接杆(41)，并与所述第二电机(6)连接。优选地，所述第二电机(6)包括电机箱(61)和升降杠(62)；所述电机箱(61)固定于所述定位件(3)的容纳腔体(32)内；所述升降杠(62)的一端与所述电机箱(61)固定连接、另一端依次穿过所述开口(24)和所述第二固定板(43)并固定于所述第一固定板(42)，所述升降杠(62)与所述连接杆(41)平行。优选地，所述第一固定板(42)的第一表面固定有第一夹持件(421)，所述第二固定板(43)与所述第一表面相对的第二表面固定有第二夹持件(431)；所述第一夹持件(421)和所述第二夹持件(431)为中部凹陷且边沿凸起的板状结构。优选地，所述第一承载部(21)的外侧壁开设有连接孔，所述第一电机(5)的转轴穿过所述连接孔与所述第一转动轮(71)固定连接。优选地，所述底座(1)包括底板(11)和支腿(12)，所述支腿(12)与所述底板(11)固定连接并朝所述承载件(2)的方向延伸，所述支腿(12)包括具有插口(121)的插槽；所述承载件(2)的底壁设置有插杆(25)，所述插杆(25)通过所述插口(121)插入所述插槽。优选地，所述拉取装置还包括抵持件(8)；所述支腿(12)开设有抵持孔(122)；所述抵持件(8)部分穿过所述抵持孔(122)，并与插入所述插槽内的插杆(25)抵持，通过作用于所述抵持件(8)使得所述抵持件(8)和所述插槽内的插杆(25)抵持或分离。优选地，所述抵持件(8)包括抵持部(81)和旋转部(82)；所述抵持部(81)和所述旋转部(82)固定连接，所述抵持部(81)穿过所述抵持孔(122)，并与插入所述插槽内的插杆(25)抵持，所述旋转部(82)位于所述支腿(12)的外部，所述旋转部(82)的外周壁设置有螺纹条；通过作用于所述旋转部(82)使得所述抵持部(81)和所述插槽内的插杆(25)抵持或分离。优选地，所述定位件(3)包括两个限位轮(33)，每个限位轮(33)包括限位杆(331)和两个限位端部(332)，所述两个限位端部(332)通过所述限位杆(331)连接；所述两个限位轮(33)设置于所述定位件(3)的导向腔体(34)内并与所述导向腔体(34)相对的两个内壁转动连接，所述两个限位轮(33)之间形成导向口(333)，所述定位件(3)通过所述导向口(333)套设于所述导向杆(23)。本专利技术实施例的第二方面，提供了一种拉取控制方法，用于控制上述的拉取装置(100)对扩散炉内的石英套管进行拉取，所述方法应用于与所述第一电机(5)和所述第二电机(6)通信的控制设备，所述方法包括：控制所述第二电机(6)运转以使所述抓取件(4)对所述扩散炉内的石英套管进行抓取；在所述抓取件(4)完成对所述石英套管的抓取后，控制所述第一电机(5)周期性地运转以带动所述第一转动轮(71)转动和所述传送带(73)运动，所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动，以实现将所述石英套管从所述扩散炉内等距离地拉出。本专利技术实施所提供的应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法，该拉取装置包括互相之间存在连接关系的底座、承载件、定位件、抓取件、第一电机以及第二电机。其中，该拉取装置的底座和承载件活动连接，能够实现拉取装置的高度调节，使得拉取装置的抓取件与石英套管的高度一致，这样能够通过抓取件对石英套管进行水平拉取，避免拉取角度倾斜导致石英套管破损。通过控制第二电机运转，能够使得抓取件对石英套管进行稳固抓取。通过控制第一电机运转，能够带动第一转动轮转动和传送带运动，使得传送带通过定位件的结合部带动定位件沿着设置在承载件的第一承载部和第二承载部之间的导向杆运动，从而实现对石英套管的平稳、等距离拉取。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例提供的应用于扩散炉的拉取装置的结构示意图。图2为图1所示的拉取装置的第一视角示意图。图3为图1中的承载件的结构示意图。图4为图1中的抓取件的结构示意图。图5为图1中的底座的结构示意图。图6为图1中的定位件的结构示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于扩散炉的拉取装置(100)，其特征在于，用于对扩散炉内的石英套管进行拉取，所述拉取装置(100)包括底座(1)、承载件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一电机(5)和第二电机(6)；/n所述底座(1)和所述承载件(2)活动连接；/n所述承载件(2)设置有第一承载部(21)和第二承载部(22)，所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间设置有导向杆(23)；所述定位件(3)套设于所述导向杆(23)上；/n所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间形成的开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；所述第二电机(6)固定于所述定位件(3)并与所述抓取件(4)的所述另一端连接，以控制所述抓取件(4)对所述石英套管进行抓取；/n所述第一承载部(21)的外侧壁设置有第一转动轮(71)，所述第二承载部(22)的外侧壁设置有第二转动轮(72)，所述第一转动轮(71)和所述第二转动轮(72)上绕设有传送带(73)，所述传送带(73)与所述定位件(3)的结合部(31)固定连接；/n所述第一电机(5)设置于所述第一承载部(21)，并与所述第一转动轮(71)连接，以控制所述第一转动轮(71)转动从而带动所述传送带(73)运动，所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动。/n...

【技术特征摘要】
1.一种应用于扩散炉的拉取装置(100)，其特征在于，用于对扩散炉内的石英套管进行拉取，所述拉取装置(100)包括底座(1)、承载件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一电机(5)和第二电机(6)；
所述底座(1)和所述承载件(2)活动连接；
所述承载件(2)设置有第一承载部(21)和第二承载部(22)，所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间设置有导向杆(23)；所述定位件(3)套设于所述导向杆(23)上；
所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间形成的开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；所述第二电机(6)固定于所述定位件(3)并与所述抓取件(4)的所述另一端连接，以控制所述抓取件(4)对所述石英套管进行抓取；
所述第一承载部(21)的外侧壁设置有第一转动轮(71)，所述第二承载部(22)的外侧壁设置有第二转动轮(72)，所述第一转动轮(71)和所述第二转动轮(72)上绕设有传送带(73)，所述传送带(73)与所述定位件(3)的结合部(31)固定连接；
所述第一电机(5)设置于所述第一承载部(21)，并与所述第一转动轮(71)连接，以控制所述第一转动轮(71)转动从而带动所述传送带(73)运动，所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动。


2.根据权利要求1所述的拉取装置(100)，其特征在于，所述抓取件(4)包括连接杆(41)、第一固定板(42)和第二固定板(43)；
所述连接杆(41)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；
所述第一固定板(42)固定于所述连接杆(41)的所述另一端；
所述第二固定板(43)套设于所述连接杆(41)，并与所述第二电机(6)连接。


3.根据权利要求2所述的拉取装置(100)，其特征在于，所述第二电机(6)包括电机箱(61)和升降杠(62)；
所述电机箱(61)固定于所述定位件(3)的容纳腔体(32)内；
所述升降杠(62)的一端与所述电机箱(61)固定连接、另一端依次穿过所述开口(24)和所述第二固定板(43)并固定于所述第一固定板(42)，所述升降杠(62)与所述连接杆(41)平行。


4.根据权利要求2所述的拉取装置(100)，其特征在于，所述第一固定板(42)的第一表面固定有第一夹持件(421)，所述第二固定板(43)与所述第一表面相对的第二表面固定有第二夹持件(431)；所述第一夹持件(421)和所述第二夹持件(431)为中部凹陷且边沿凸起的板状结构。

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【专利技术属性】
技术研发人员：燕超，徐嘉，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22