气压装置离线检测系统和方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气压装置离线检测系统和方法，所述系统包括一控制装置，用于产生一控制讯号；一讯号传输模块，与该控制装置相连接，用以传出该控制讯号；一气压装置调节模块，用于接收该控制讯号，以调节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气体压力变化产生一回馈讯号经由该讯号传输模块传送给该控制装置，而该控制装置将该回馈讯号运算处理，进而纪录该气压装置调节模块之作动状况结果，以呈现出故障分析报告。本发明专利技术可将之前只能以在线状态下测试的项目作离线处理和模拟分析和检测气压装置的工作状况，并可透过提供各种不同的试验数据，以作出故障分析的报告，进而提升成品率与效率，且有效节省成本，并达到预防性保养的目标。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气压装置检测系统和方法，特别涉及一种化学机械抛光机台的气压装置 离线检测系统和方法。
技术介绍
在半导体工艺中，化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是一个必要的 步骤，化学机械抛光工艺中是由一晶片载具承载住晶片，在髙速旋转下通过与抛光垫之间的 相互摩擦达到表面平坦的目的。目前的晶片载具承载系统所使用的机制包含众多方法，其中 运用真空(Vacuum)作吸附(Suction)与保持(Holding)晶片的方法已经被广泛运用。而晶片载 具也称做抛光头，它包括抛光头主体、固定环、载具薄膜、气压装置，以及一个向下推进的 系统。但是运用真空吸附以达到承载住晶片的现有技术，经由实际操作后却发现，其在化学机 械抛光过程中，常发生晶片因吸取压力异常而脱离晶片载具的情况，亦即"滑片"，并由于 高速旋转下的作用力，滑片后的晶片常与机台碰撞而破损无法使用，造成碎片的次品，这对 于造价昂贵的晶片而言，在成本上是一大损失。而在半导体工艺中， 一系列的流程都是自动化，所以无法在发生错误的实时，立刻停止 其中的流程来执行在线检测，因为这对工艺的整体进度有严重影响，半导体工艺中最重视的 就是效率与成品率。所以目前没有可以在离线状态下模拟分析和检测气压装置的工作状况的 系统和方法，以至于无法完全将机台的工作特性状况控制在我们想要的状态之下。因此，本专利技术针对上述的问题，提出一种，以解决该问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，提供一种，其可以在离线状态下 模拟分析和检测气压装置的工作状况的系统和方法。本专利技术的另一目的在于，提供一种，其可以将之前只能在 线测试的项目作离线处理，提升正常的进度时程。本专利技术的另一目的在于，提供一种，其可透过提供各种不 同的试验数据，以作出故障分析的报告，进而达到预防性保养的目标。本专利技术的另一目的在于，提供一种，其系可有效预防晶片破片，进而提升晶片成品率，达到有效节省成本的效果。本专利技术的再一目的在于，提供一种，其提供一种提升气压 装置性能的系统和方法。为达上述目的，本专利技术气压装置离线检测系统包含一控制装置，是产生一控制讯号；一 讯号传输模块，用以传出此控制讯号；以及一气压装置调节模块，是接收此控制讯号，以调 节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气体压力变化产生一回馈讯号经由此讯号传输模 块传送给此控制装置。本专利技术气压装置离线检测方法的步骤为提供一控制讯号，由一控制装置产生输出；一 气压装置调节模块接收此控制讯号，以调节其内部的气体压力；根据调节后的内部气体压力 变化产生一回馈讯号；以及此控制装置接收此回馈讯号并将其运算处理，进而纪录此气压装 置调节模块的动作状况结果，以呈现出故障分析报告。本专利技术可将之前只能以在线状态下测试的项目作离线处理和模拟分析和检测气压装置的 工作状况，并可透过提供各种不同的试验数据，以作出故障分析的报告，进而提升成品率与 效率，且有效节省成本，并达到预防性保养的目标。以下结合附图及实施例进一步说明本专利技术。附图说明图l为本专利技术实施例示意图。 标号说明2控制装置 64内管装置4讯号传输模块 66上腔室装置42数字讯号接口 68固定环装置 44模拟讯号接口 8气体传输模块6气压装置调节模块 82真空吸引装置62载具薄膜装置 84纯净干燥气体装置具体实施例方式本专利技术为一种，首先请参阅图l，本专利技术的系统包括有一可 为计算机的控制装置2，其可以产生并输出一控制讯号； 一与控制装置2相连接的讯号传输模 块4，是由一数字讯号接口42和一模拟讯号接口44所组成，其功用是传输数字讯号和模拟讯 号； 一气压装置调节模块6包括一载具薄膜装置62、 一内管装置64、 一上腔室装置66、 一固定环装置68，其作用为接收此控制讯号，以调节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气 体压力变化产生一回馈讯号经由讯号传输模块4传送给控制装置2;以及一气体传输模块8， 是由一纯净干燥气体装置82和一真空吸引装置84所组成，其提供通入/抽出气体于气压装置 调节模块6来调节其内部的气体压力。如欲知道此气压装置在各种工作流程的真实状况中，气压装置是否能够正常运作，故可 以对此气压装置进行一离线检测流程，首先，从控制装置2输出一用于测试的控制讯号给讯 号传输模块4，讯号传输模块4中的数字讯号接口 42和模拟讯号接口 44分别接收并传输此控 制讯号给气压装置调节模块6，使气压装置调节模块6中的固定环装置68接收此控制讯号， 固定环装置68中的气压阀则开始作动，并利用气体传输模块8中的纯净干燥气体装置82或 真空吸引装置84调节固定环装置68内部的气体压力，并根据调节后其内的气体压力变化状 况产生一模拟讯号的回馈讯号，讯号传输模块4中的模拟讯号接口 44接收此回馈讯号并传送 给控制装置2，则控制装置2将此回馈讯号运算处理，进而纪录固定环装置68整个工作流程 的作动状况结果，用曲线或其它方式来呈现出故障分析报告。其中，气体传输模块8则是透 过控制装置2控制，使其可以通入/抽出气体给气压装置调节模块6，来调节其内部的气体压力。此系统可让使用者了解此气压装置的输出随其输入讯号的改变立即产生相对应的变化， 从而直接或间接得指导使用者的故障排除工作。除本专利技术实施例中可对气压装置调节模块6 中的各个气压装置同时作仿真检测，并不限定只能对单一气压装置作检测，本专利技术也可依各 种不同的真实状况需求，而输入不同的测试讯号来仿真检测，就可使使用者了解各个气压装 置中哪个是正常工作，而哪个则是欠佳，从而较好的完成对气压装置的性能控制，最终可降 低生产中潜在的风险。综合所述，本专利技术的，可将之前只能以在线状态下测试的 项目作离线处理和模拟分析和检测气压装置的工作状况，并可透过提供各种不同的试验数据， 以作出故障分析的报告，进而提升成品率与效率，且有效节省成本，并达到预防性保养的目 标。以上所述的实施例仅用于说明本专利技术的技术思想及特点，其目的在使本领域内的技术人 员能够了解本专利技术的内容并据以实施，当不能仅以本实施例来限定本专利技术的专利范围，即凡 依本专利技术所揭示的精神所作的同等变化或修饰，仍落在本专利技术的专利范围内。权利要求1、 一种气压装置离线检测系统，其特征在于包括一控制装置，用于产生一控制讯号；一讯号传输模块，与该控制装置相连接，用以传出该控制讯号；以及一气压装置调节模块，用于接收该控制讯号，以调节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气体压力变化产生一回馈讯号经由该讯号传输模块传送给该控制装置，而该控制装置将该回馈讯号运算处理，进而纪录该气压装置调节模块之作动状况结果，以呈现出故障分析报告。2、 根据权利要求1所述的气压装置离线检测系统，其特征在于该控制装置为一计算机。3、 根据权利要求1所述的气压装置离线检测系统，其特征在于该控制装置为将运算处 理结果的讯号数据用以曲线分析显示的控制装置。4、 根据权利要求1所述的气压装置离线检测系统，其特征在于该讯号传输模块包括一 数字讯号接口和一模拟讯号接口 。5、 根据权利要求1所述的气压装置离线检测系统，其特征在于该气压装置调节模块系 包括一载具薄膜装置、 一内管装置、 一上腔室装置以及一固定环装置。6、 根据权利要求1所述的气压装置离线检测系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气压装置离线检测系统，其特征在于包括：一控制装置，用于产生一控制讯号；一讯号传输模块，与该控制装置相连接，用以传出该控制讯号；以及一气压装置调节模块，用于接收该控制讯号，以调节其内部的气体压力，并根据调节后的内部气体压力变化产生一回馈讯号经由该讯号传输模块传送给该控制装置，而该控制装置将该回馈讯号运算处理，进而纪录该气压装置调节模块之作动状况结果，以呈现出故障分析报告。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶文君，李宗斌，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]