一种带金属化的陶瓷盖板制造技术

技术编号:25578383 阅读:59 留言:0更新日期:2020-09-08 20:16
本实用新型专利技术公开了一种带金属化的陶瓷盖板,属于微电子封装技术领域。包括陶瓷盖板、金属化层,金属化层沿陶瓷盖板的下表面边缘形状设置,金属化层环状加镀在陶瓷盖板的下表面,可有效解决微电子元件的封装,在使用陶瓷盖板时的密封性差问题,以及采用金属盖板时的耐腐蚀性较差、整体成本偏高的问题,兼顾二者成本低、密封性好的技术优势的同时又克服了它们的缺点。

【技术实现步骤摘要】
一种带金属化的陶瓷盖板
本技术属于微电子封装
,具体涉及一种带金属化的陶瓷盖板。
技术介绍
现阶段,微电子封装常用的盖板分为陶瓷盖板和金属盖板两种:其中陶瓷盖板的耐腐蚀性好,成本较低,其采用胶粘方式封装,此类封装方式密封性差,不适用于高精度微电子元件的封装;金属盖板采用熔封方式封装,密封性强,适用于高精度微电子元件的封装,但其耐腐蚀性较差,产品整体镀金,且整体成本偏高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,提供一种带金属化的陶瓷盖板,为下表面环状覆盖金属化层的陶瓷盖板,可有效解决微电子元件的封装,在使用陶瓷盖板时的密封性差问题,以及采用金属盖板时的耐腐蚀性较差、整体成本偏高的问题,兼顾二者成本低、密封性好的技术优势的同时又克服了它们的缺点。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板、金属化层,所述金属化层沿陶瓷盖板的下表面边缘形状设置,所述金属化层环状加镀在陶瓷盖板的下表面,所述陶瓷盖板的下表面中心留有不设置金属化层的表面。作为优选,所述金属化层由钨金属层、镍金属层、金金属层组成,所述钨金属层设置于陶瓷盖板的下表面之上,镍金属层设置于钨金属层之上,金金属层设置于镍金属层之上。作为优选,所述金属化层中的钨金属层、镍金属层、金金属层的各层均表面光滑平整。有益效果采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本技术提供一种带金属化的陶瓷盖板,为下表面环状覆盖金属化层的陶瓷盖板,由于金属化层可以适用与金属盖板相同的熔封封装方式,且熔封的接触面仅在于金属化层所环状覆盖的陶瓷盖板表面,一方面使用熔封方式封装,密封性强,适用于高精度微电子元件的封装,另一方面采用陶瓷盖板与减少了覆盖金属化层的面积,降低了成本。附图说明图1是本技术的结构示意图;图2是本技术的AA’面的剖面示意图;图3是本技术的AA’剖面的B区域局部放大示意图;图中标注1、陶瓷盖板;2、金属化层;21、钨金属层;22、镍金属层;23、金金属层。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“厚度”、“宽度”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。实施例1参照图1-图3,一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板1、金属化层2,金属化层2沿陶瓷盖板1的下表面边缘形状设置,金属化层2环状加镀在陶瓷盖板1的下表面,陶瓷盖板1的下表面中心留有不设置金属化层2的表面,减少了覆盖金属化层2的面积,降低了成本。进一步的技术方案,金属化层由钨金属层21、镍金属层22、金金属层23组成,钨金属层21设置于陶瓷盖板1的下表面之上,镍金属层22设置于钨金属层21之上,金金属层23设置于镍金属层22之上。进一步的技术方案,所述金属化层中的钨金属层21、镍金属层22、金金属层23的各层均表面光滑平整。本技术带金属化的陶瓷盖板是在传统结构陶瓷盖板的下表面加镀金属化层2实现的,为满足器件的高可靠工作并避免镀层脱落,需要对电镀工艺进行严格控制,使用多层金属化工艺完成镀层构建,要求完成的镀层表面光洁平整、无气泡现象。本技术提供一种带金属化的陶瓷盖板,为下表面环状覆盖金属化层的陶瓷盖板,可有效解决微电子元件的封装,在使用陶瓷盖板时的密封性差问题,以及采用金属盖板时的耐腐蚀性较差、整体成本偏高的问题,兼顾二者成本低、密封性好的技术优势的同时又克服了它们的缺点。对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术,对本实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本领域技术人员根据本技术的原理设计出其他结构的产品,均属于本技术的保护范围,本技术将不会被限制于本文所示的实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板(1)、金属化层(2),所述金属化层(2)沿陶瓷盖板(1)的下表面边缘形状,环状加镀在陶瓷盖板(1)的下表面,所述陶瓷盖板(1)的下表面中心留有不设置金属化层(2)的表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板(1)、金属化层(2),所述金属化层(2)沿陶瓷盖板(1)的下表面边缘形状,环状加镀在陶瓷盖板(1)的下表面,所述陶瓷盖板(1)的下表面中心留有不设置金属化层(2)的表面。


2.根据权利要求1所述的带金属化的陶瓷盖板,其特征在于所述金属化层(2)由钨金属层(21)、镍金属层...

【专利技术属性】
技术研发人员:鲍侠庄亚平严培青
申请(专利权)人:浙江长兴电子厂有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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