【技术实现步骤摘要】
一种带金属化的陶瓷盖板
本技术属于微电子封装
,具体涉及一种带金属化的陶瓷盖板。
技术介绍
现阶段,微电子封装常用的盖板分为陶瓷盖板和金属盖板两种:其中陶瓷盖板的耐腐蚀性好,成本较低,其采用胶粘方式封装,此类封装方式密封性差,不适用于高精度微电子元件的封装;金属盖板采用熔封方式封装,密封性强,适用于高精度微电子元件的封装,但其耐腐蚀性较差,产品整体镀金,且整体成本偏高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,提供一种带金属化的陶瓷盖板,为下表面环状覆盖金属化层的陶瓷盖板,可有效解决微电子元件的封装,在使用陶瓷盖板时的密封性差问题,以及采用金属盖板时的耐腐蚀性较差、整体成本偏高的问题,兼顾二者成本低、密封性好的技术优势的同时又克服了它们的缺点。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板、金属化层,所述金属化层沿陶瓷盖板的下表面边缘形状设置,所述金属化层环状加镀在陶瓷盖板的下表面,所述陶瓷盖板的下表面中心留有不设置金属化层的表面。作为优选,所述金属化层由钨金属层、镍金属层、金金属层组成,所述钨金属层设置于陶瓷盖板的下表面之上,镍金属层设置于钨金属层之上,金金属层设置于镍金属层之上。作为优选,所述金属化层中的钨金属层、镍金属层、金金属层的各层均表面光滑平整。有益效果采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本技术提供一种带金属化的陶瓷盖板,为下表面环状覆盖金属化层的陶瓷盖板,由于金属化层可以适 ...
【技术保护点】
1.一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板(1)、金属化层(2),所述金属化层(2)沿陶瓷盖板(1)的下表面边缘形状,环状加镀在陶瓷盖板(1)的下表面,所述陶瓷盖板(1)的下表面中心留有不设置金属化层(2)的表面。/n
【技术特征摘要】
1.一种带金属化的陶瓷盖板,其特征在于包括陶瓷盖板(1)、金属化层(2),所述金属化层(2)沿陶瓷盖板(1)的下表面边缘形状,环状加镀在陶瓷盖板(1)的下表面,所述陶瓷盖板(1)的下表面中心留有不设置金属化层(2)的表面。
2.根据权利要求1所述的带金属化的陶瓷盖板,其特征在于所述金属化层(2)由钨金属层(21)、镍金属层...
【专利技术属性】
技术研发人员:鲍侠,庄亚平,严培青,
申请(专利权)人:浙江长兴电子厂有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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