一种高效率双面受光柔性硅异质结太阳电池的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种高效率双面受光柔性硅异质结太阳电池的制备方法，包括：提供一经过制绒清洗得到的表面清洁的柔性晶体硅衬底；在柔性衬底的相对两侧分别沉积非晶硅薄膜钝化层；在非晶硅薄膜钝化层上分别沉积第一TCO薄膜形成第一受光面和具有增强的红外波段光谱响应的背反射复合薄膜形成第二受光面，其中，背反射复合薄膜由第二TCO薄膜和金属纳米颗粒构成；在第一TCO薄膜和背反射复合薄膜上分别形成金属栅极。本发明专利技术利用第二受光面中不同分布的金属纳米颗粒的表面等离子体激元效应增强红外波段的光谱响应，克服柔性硅异质结太阳电池由于基底厚度不足引起的红外区域光谱响应差的缺点，有效提升柔性硅异质结太阳电池的短路电流和转换效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效率双面受光柔性硅异质结太阳电池的制备方法
本专利技术涉及太阳电池制造，更具体地涉及一种高效率双面受光柔性硅异质结太阳电池的制备方法。
技术介绍
能源是一个国家赖以生存和发展的动力。在化石能源日益枯竭和环境问题凸显的时代，新型可替代能源的发展将为国民经济持续发展提供有力的保障。太阳能可以稳定而持续的输出，在清洁能源中更具竞争力。目前，各种构型的晶体硅(c-Si)组件占据市场份额的90％以上，从发电量和节约成本两方面考虑，高效组件在光伏系统安装中占有绝对优势。获得高效率晶体硅太阳电池是获得高效组件的基础，高效硅异质结(SHJ)太阳电池的开发可以获得更高效率的组件。同时为了进一步扩大光伏装机量，降低成本是必经之路，晶体硅基底的薄片化趋势受到人们的重视。此外，充当吸收层的晶体硅减薄后，SHJ太阳电池具有可弯曲的柔性特征，制成的组件同样有柔性特征，可装在有曲度的表面实现电力输出，因此柔性组件在降低成本的同时有更广泛的用途。然而，由数值模拟和实际器件性能输出可知：SHJ太阳电池的I-V参数会随着硅片减薄而变化，其中开路电压和填充因子随着晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效率双面受光柔性硅异质结太阳电池的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：/nS1，提供一经过制绒清洗得到的表面清洁的柔性晶体硅衬底；/nS2，在柔性衬底的相对两侧分别沉积非晶硅薄膜钝化层；/nS3，在非晶硅薄膜钝化层上分别沉积第一TCO薄膜形成第一受光面和具有增强的红外波段光谱响应的背反射复合薄膜形成第二受光面，其中，背反射复合薄膜由第二TCO薄膜和金属纳米颗粒构成；/nS4，在第一TCO薄膜和背反射复合薄膜上分别形成金属栅极。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效率双面受光柔性硅异质结太阳电池的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：
S1，提供一经过制绒清洗得到的表面清洁的柔性晶体硅衬底；
S2，在柔性衬底的相对两侧分别沉积非晶硅薄膜钝化层；
S3，在非晶硅薄膜钝化层上分别沉积第一TCO薄膜形成第一受光面和具有增强的红外波段光谱响应的背反射复合薄膜形成第二受光面，其中，背反射复合薄膜由第二TCO薄膜和金属纳米颗粒构成；
S4，在第一TCO薄膜和背反射复合薄膜上分别形成金属栅极。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，金属纳米颗粒为金、银、铟和/或铝。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，金属纳米颗粒的粒径为100～300nm。


4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，背反射复合薄膜通过热蒸发、电子束蒸发、物理气相沉积、磁控溅射法和反应等离子体沉积中的至少一种方法制备。


5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，背反射复合薄膜为夹心结构或周期性交替沉积堆叠结构。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张丽平，姚宇波，刘正新，孟凡英，石建华，刘文柱，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31