一种判断热电偶是否可回收再利用的方法技术

本发明专利技术涉及一种判断热电偶是否可回收再利用的方法。现有的热电偶回收因无合适的判断方法或使可回收再利用的热电偶被废弃，或使测温不准的热电偶被回收再利用。本发明专利技术的方法先判断待回收热电偶是否有外观缺陷，若无则将该待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境下，接着改变该温度环境的温度并使其涵盖该待回收热电偶的量程范围，同时记录该待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值，之后计算出两者的电压差值并取得对应的温度差值，最后依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用。采用本发明专利技术的判断热电偶是否可回收再利用的方法可确保回收再利用的热电偶测温准确。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热电偶的回收，特别涉及一种判断热电偶是否可回收再利用的 方法。
技术介绍
在半导体制造领域，温度是最重要的控制参数之一，故各种长度的热电偶 被用来侦测不同工艺步骤的工艺温度，现通常使用的热电偶是由金属钿或铀铑 合金制成，其造价昂贵，当长度较长的热电偶出现问题时，为节约成本通常将 该热电偶进行回收再利用。但现有的回收利用方法，仅单纯的将热电偶有粗细不均、断裂和毛边的部 分剪除后，然后再制作焊点进行回收再利用，如此将很难确保热电偶测温的准
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供，通过所 述方法可确保回收的热电偶能准确测定温度。本专利技术的目的是这样实现的 ， 该方法先判断待回收热电偶是否有外观缺陷，当有外观缺陷时判定该待回收热 电偶无法进行回收利用，当无外观缺陷时继续进行判断，该方法还包括以下步 骤(1)将该无外观缺陷的待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境 下；(2 )改变该温度环境的温度并使其涵盖该待回收热电偶的量程范围；(3 ) 记录该待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值；(4 )计算出该待回收热电偶 和标准热电偶的电压差值并取得对应的温度差值；(5)依据该温度差值判断该 待回收热电偶是否可回收再利用。在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该步骤(5)包括以下步 骤(50)判断该温度差值是否大于一容许差值，若是则继续步骤(52)，若否，则继续步骤(51) ; (51)判断该温度差值是否分布在同一直线上，若是 则判定该待回收热电偶可回收再利用，若否，则继续步骤(52); (52)判断 该待回收热电偶是否短于一最小长度，若是，则判定该待回收热电偶无法进行 回收利用，若否，则从热电偶焊点处截去一固定长度并重新制作焊点后再返回 步骤(2 )。在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，通过显微镜判断该待回收热电偶是否有外观缺陷。在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该容许差值为正负2°C。 在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该最小长度为41.9cm。 在上述的判断热电偶是否可回收再利用的方法中，该固定长度为10cm。 与现有技术相比，本专利技术在判断出待回收热电偶无外观缺陷后，使用该待回收热电偶和标准热电偶测试同样的温度且取得温度差值，并依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用，如此可确保回收再利用的热电偶测温准确。附图说明本专利技术的判断热电偶是否可回收再利用的方法由以下的实施例及附图给出。图1为本专利技术的判断热电偶是否可回收再利用的方法的实施例的流程图。具体实施方式以下将对本专利技术的判断热电偶是否可回收再利用的方法作进一步的详细描述。本专利技术的判断热电偶是否可回收再利用的方法首先进行步骤SIO，判断待回 收热电偶是否有外观缺陷，若有则继续步骤S19，若无则继续步骤Sll。在本实施例中，通过显微镜和宏观观察来判断所述待回收热电偶是否有外 观缺陷，所述外观缺陷包括粗细不均、断裂和毛边等。在步骤Sll中，将所述待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境 下。然后继续步骤S12。在步骤S12中，改变所述温度环境的温度值并使其涵盖所述待回收热电偶的量程范围。然后继续步骤S13。在本实施例中，所述量程范围为30(TC至1000 。C。在步骤S13中，记录所述待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值。然后 继续步骤S14。在步骤S14中，计算出所述待回收热电偶和标准热电偶的电压差值，并取 得对应的温度差值。然后继续步骤S15 。在步骤S15中，判断所述温度差值是否大于一容许差值，若是则继续步骤 S18，若否，则继续步骤S16。在本实施例中，所述容许差值为正负2°C在步骤S16中，判断所述温度差值是否分布在同一直线上，若是则继续步 骤S17，若否，则继续步骤S18。在步骤S17中，判定所述待回收热电偶可回收再利用。在步骤S18中，判断所述待回收热电偶是否短于一最小长度，若是，则继 续步骤S19,若否，则继续步骤SllO。在本实施例中，所述最小长度为41.9cm。在步骤S19中，判定所述待回收热电偶无法进行回收利用。在步骤S11G中，从所述待回收热电偶焊点处截去一固定长度，并重新制作 焊点，然后返回步骤Sll。在本实施例中，所述固定长度为10cm。综上所述，本专利技术判断热电偶是否可回收再利用的方法先判断待回收热电 偶是否有外观缺陷，且在无外观缺陷时使用所述待回收热电偶和标准热电偶测 试同样的温度并取得温度差值，接着依据所述温度差值判断所述待回收热电偶 是否可回收再利用，如此可确保回收再利用的热电偶测温准确。权利要求1. ，该方法先判断待回收热电偶是否有外观缺陷，当有外观缺陷时判定该待回收热电偶无法进行回收利用，当无外观缺陷时继续进行判断，其特征在于，该方法还包括以下步骤(1)将该无外观缺陷的待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境下；(2)改变该温度环境的温度并使其涵盖该待回收热电偶的量程范围；(3)记录该待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值；(4)计算出该待回收热电偶和标准热电偶的电压差值并取得对应的温度差值；(5)依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用。2、 如权利要求1所述的判断热电偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 该步骤(5)包括以下步骤(50 )判断该温度差值是否大于一容许差值，若是 则继续步骤(52),若否，则继续步骤(51) ; (51)判断该温度差值是否分 布在同一直线上，若是则判定该待回收热电偶可回收再利用，若否，则继续步 骤(52); (52)判断该待回收热电偶是否短于一最小长度，若是，则判定该 待回收热电偶无法进行回收利用，若否，则从热电偶焊点处截去一固定长度并 重新制作焊点后再返回步骤(2)。3、 如权利要求1所述的判断热电偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 通过显微镜判断该待回收热电偶是否有外观缺陷。4、 如权利要求2所述的判断热电偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 该容许差值为正负2°C。5、 如权利要求2所述的判断热电偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 该最小长度为41. 9cm。6、 如权利要求2所述的判断热电偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 该固定长度为10cm。全文摘要本专利技术涉及。现有的热电偶回收因无合适的判断方法或使可回收再利用的热电偶被废弃，或使测温不准的热电偶被回收再利用。本专利技术的方法先判断待回收热电偶是否有外观缺陷，若无则将该待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境下，接着改变该温度环境的温度并使其涵盖该待回收热电偶的量程范围，同时记录该待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值，之后计算出两者的电压差值并取得对应的温度差值，最后依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用。采用本专利技术的判断热电偶是否可回收再利用的方法可确保回收再利用的热电偶测温准确。文档编号G01K15/00GK101271027SQ20071003821公开日2008年9月24日 申请日期2007年3月20日 优先权日2007年3月20日专利技术者吴协祥, 张士仁, 瞿丹红, 陈淑美 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种判断热电偶是否可回收再利用的方法，该方法先判断待回收热电偶是否有外观缺陷，当有外观缺陷时判定该待回收热电偶无法进行回收利用，当无外观缺陷时继续进行判断，其特征在于，该方法还包括以下步骤：（１）将该无外观缺陷的待回收热电偶和标准热电偶设置在同样的温度环境下；（２）改变该温度环境的温度并使其涵盖该待回收热电偶的量程范围；（３）记录该待回收热电偶和标准热电偶测得的电压值；（４）计算出该待回收热电偶和标准热电偶的电压差值并取得对应的温度差值；（５）依据该温度差值判断该待回收热电偶是否可回收再利用。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿丹红，吴协祥，张士仁，陈淑美，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]