一种蓝宝石衬底回收再利用方法技术

本发明专利技术针对蓝宝石衬底回收再利用的现有技术存在的回收成本较高、处理过程复杂问题，提供了一种蓝宝石衬底回收再利用方法，本方法对图形化蓝宝石衬底和蓝宝石平衬底都可以进行回收再利用，只需要两个步骤：高温烘烤和浓酸高温清洗。该方法流程简单、容易操作、回收周期短、回收效率高，能大大降低回收成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种外延片的蓝宝石衬底回收再利用方法，属于光电子

技术介绍
随着LED(LightEmittingDiode，发光二极管)技术的进步和光效的提高，LED已经成为新一代的照明光源，普遍应用于背光源、显示屏、装饰照明，并且逐渐进入家用照明、室外照明领域。随着LED应用领域的不断扩大，各企业在扩大投入和研发的同时由于工艺波动或者设备等不稳定和不可控因素，会产生完整的待报废的外延片，这些外延片中衬底的费用是整个外延过程中不可忽视的大开支，尤其是目前开发的大尺寸衬底。目前，蓝宝石衬底以其生产技术成熟、器件质量较好、稳定性好和机械强度高等优势在LED领域的应用日益广泛。随着LED市场的竞争越来越来激烈，为了能降低生产成本，需要将产生的完整的待报废的外延片的表面去除，回收蓝宝石衬底以重新利用。业界对蓝宝石回收再利用的方法已有不少研究，但在已知的处理方法中都或多或少存在一些问题，如回收成本较高、处理过程复杂等等。中国专利文献CN104868020A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石衬底回收再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：高温烘烤，把完整的待报废的外延片放入烘烤炉进行烘烤，所述高温烘烤的温度为600℃‑1400℃，所述外延片的衬底为蓝宝石衬底；浓酸高温清洗，把经过上述高温烘烤后的外延片进行浓酸高温清洗，所述浓酸的浓度为60％‑99％，所述浓酸高温清洗的温度为60℃‑300℃。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底回收再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：
高温烘烤，把完整的待报废的外延片放入烘烤炉进行烘烤，所述高温烘烤
的温度为600℃-1400℃，所述外延片的衬底为蓝宝石衬底；
浓酸高温清洗，把经过上述高温烘烤后的外延片进行浓酸高温清洗，所述
浓酸的浓度为60％-99％，所述浓酸高温清洗的温度为60℃-300℃。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述高温烘烤的烘烤时间为
2h-20h。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述高温烘烤所用的气体为氮
气或氮氢气体。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述浓酸高温清洗的温度为
160℃。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述浓酸高温清洗的时间为大
于2分钟。
6.如权利要求5所述的方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：马后永，琚晶，游正璋，李起鸣，谢静超，
申请(专利权)人：映瑞光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31