一种真空抽气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空抽气装置，包括抽真空室、抽气管路、连接管路、阀门、罗茨泵和机械泵，抽真空室底部设置至少四个抽气口，抽气管路的数量与抽气口数量相同，抽气管路分别与抽气口连接，抽气管路通过连接管路与阀门的一端连接，罗茨泵和机械泵串联后与阀门的另一端连接。本实用新型专利技术将抽气口分散设置，降低抽气过于集中造成产品爆裂风险，采用过滤网和网状钢片进行多次过滤，进一步防止碎渣进入泵体；另外，采用网状钢片，进而能够适配不同尺寸的抽气管路。各抽气管路采用串联连接，后以抽气管路相对于前一抽气管路多了一步过滤，进一步防止碎渣进入泵体造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种真空抽气装置
本技术涉及液晶面板制造领域，特别涉及一种真空抽气装置。
技术介绍
真空镀膜是以真空技术为基础，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。随着全球制造业的高速发展，真空镀膜技术应用越来越广泛，例如：半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业，对真空镀膜设备、技术、材料等的需求都在不断加大。随着显示技术的不断更新，对镀膜技术的挑战也越来越大。显示屏的防静电膜、导电膜以及减反增透膜等的制作过程都是在真空环境下完成的，利用抽气泵组抽气制造真空环境是真空镀膜过程中一个必不可少的重要工序。当显示屏半成品进入真空环境，在抽气过程中容易因泵组抽气速率过快而导致部分显示屏半成品出现爆裂、盒内气泡等现象，不仅影响产品的良率，同时还会因爆裂的碎片通过抽气管道进入抽气泵组抽气单元内部，导致泵组无法正常工作。
技术实现思路
针对以上现有技术存在的缺陷，本技术的主要目的在于克服现有技术的不足之处，公开了一种真空抽气装置，包括抽真空室、抽气管路、连接管路、阀门、罗茨泵和机械泵，所述抽真空室底部设置至少四个抽气口，所述抽气管路的数量与所述抽气口数量相同，所述抽气管路分别与所述抽气口连接，所述抽气管路通过所述连接管路与所述阀门的一端连接，所述罗茨泵和所述机械泵串联后与所述阀门的另一端连接。进一步地，还包括过滤网，所述过滤网设置在所述抽气管路的入口处。进一步地，所述连接管路与所述抽气管路侧壁连接。进一步地，所述抽气管路向下设置盲管。进一步地，所述盲管与所述抽气管路可拆卸连接。进一步地，所述盲管深10cm。进一步地，还包括网状钢片，所述网状钢片环绕呈管状设置在所述抽气管路内。进一步地，所述抽气口分布在所述抽真空室的四周边缘处。进一步地，所述抽气管路通过所述连接管路串联后与所述阀门连接。本技术取得的有益效果：本技术将抽气口分散设置，降低抽气过于集中造成产品爆裂风险，采用过滤网和网状钢片进行多次过滤，进一步防止碎渣进入泵体；另外，采用网状钢片，进而能够适配不同尺寸的抽气管路。各抽气管路采用串联连接，后以抽气管路相对于前一抽气管路多了一步过滤，进一步防止碎渣进入泵体造成损坏。附图说明图1为本技术的一种真空抽气装置的结构示意图；图2为抽真空室的结构示意图；图3为抽气管路部分的结构示意图；图4为图1中抽气部分的结构示意图；图5为网状钢片的结构示意图；附图标记如下：1、抽真空室，2、抽气管路，3、连接管路，4、阀门，5、罗茨泵，6、机械泵，7、过滤网，8、盲管，9、网状钢片，11、抽气口。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例对本技术作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。一种真空抽气装置，如图1-4所示，包括抽真空室1、抽气管路2、连接管路3、阀门4、罗茨泵5和机械泵6，抽真空室1底部设置至少四个抽气口11，抽气管路2的数量与抽气口11数量相同，抽气管路2分别与抽气口11连接，抽气管路2通过连接管路3与阀门4的一端连接，罗茨泵5和机械泵6串联后与阀门4的另一端连接。具体的，抽气口11设置四个，对应的，抽气管路2也设置四个，抽气管路2分别与四个抽气口11连接，利用连接管路3将抽气管路2与阀门4连接，利用阀门进行管路的断开和打开。罗茨泵5和机械泵6串联后与阀门4的另一端连接。在使用时，通过罗茨泵5和机械泵6共同对抽真空室1抽真空，通过四个分散的抽气口11进行抽气，改善了产品爆裂。在一实施例中，如图1-4所示，还包括过滤网7，过滤网设置在抽气口1上抽气管路2的入口处。由于在生产过程中，不可避免的会存在一些产品爆裂，通过过滤网将产生的碎渣进行收集。优选的，过滤网7安装后低于抽真空室1的底部的上表面，用于积存碎渣。在一实施例中，如图1-4所示，连接管路3与抽气管路2侧壁连接。在一实施例中，如图1-4所示，抽气管路2向下设置盲管8。优选的，盲管8深10cm。用于储存未被过滤网7过滤的碎渣。在以优选实施例中，盲管8与抽气管路2可拆卸连接。通常，盲管8与抽气管路2通过法兰连接。通过上述结构，能够方便定期对盲管8内的碎渣进行清理。在一实施例中，如图1-5所示，还包括网状钢片9，网状钢片9环绕呈管状设置在抽气管路2内。用于遮挡抽气管路2的出气口，进而过滤从出气口抽出的气体，将碎渣留在抽气管路2内。另外，如果设置盲管8，利用碎渣自身重量，将碎渣暂存在盲管8中。另外，盲管8与抽气管路2可拆卸连接，能够方便网状钢片9安装。最后，安装网状钢片9，利用钢片自身弹性，使得网状钢片9紧贴抽气管路2的内壁，进而适用于不同内径的抽气管路2，提高网状钢片9的适用范围。在一实施例中，如图1-5所示，抽气口11分布在抽真空室1的四周边缘处。进而增加各抽气口11之间的间距，使得抽气更加均匀。在一实施例中，如图1-5所示，抽气管路2通过连接管路3串联后与阀门4连接。通过串联的结构，尽可能减少未被网状钢片9过滤的碎渣抽入泵中，以造成泵的损坏。以上仅为本技术的较佳实施例，并非用来限定本技术的实施范围；如果不脱离本技术的精神和范围，对本技术进行修改或者等同替换，均应涵盖在本技术权利要求的保护范围当中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空抽气装置，其特征在于，包括抽真空室、抽气管路、连接管路、阀门、罗茨泵和机械泵，所述抽真空室底部设置至少四个抽气口，所述抽气管路的数量与所述抽气口数量相同，所述抽气管路分别与所述抽气口连接，所述抽气管路通过所述连接管路与所述阀门的一端连接，所述罗茨泵和所述机械泵串联后与所述阀门的另一端连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空抽气装置，其特征在于，包括抽真空室、抽气管路、连接管路、阀门、罗茨泵和机械泵，所述抽真空室底部设置至少四个抽气口，所述抽气管路的数量与所述抽气口数量相同，所述抽气管路分别与所述抽气口连接，所述抽气管路通过所述连接管路与所述阀门的一端连接，所述罗茨泵和所述机械泵串联后与所述阀门的另一端连接。


2.根据权利要求1所述的一种真空抽气装置，其特征在于，还包括过滤网，所述过滤网设置在所述抽气管路的入口处。


3.根据权利要求1所述的一种真空抽气装置，其特征在于，所述连接管路与所述抽气管路侧壁连接。


4.根据权利要求1所述的一种真空抽气装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑利波，
申请(专利权)人：苏州凯利昂光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32