一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法技术方案

本申请涉及一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法，涉及蚀刻技术领域，其中，玻璃减薄的蚀刻系统，包括水池和输送单元，水池上端开口，能够与输送单元对应；在水池的一内侧壁面上安装有鼓气组件；所述鼓气组件包括多个气泡生成单元，气泡生成单元均包括用于连通气源的导气管，导气管上安装有多个气泡生成器，气泡生成器均与导气管内部连通，气泡生成器的气泡出口均朝向水池内部；多个气泡生成单元彼此独立。本申请的蚀刻系统在蚀刻过程中，能够根据蚀刻玻璃的量进行不同数量的气泡生成单元工作，以产生不同的气泡量，去除玻璃表面蚀刻杂质更加精准，蚀刻更加均匀，提高玻璃蚀刻效果。提高玻璃蚀刻效果。提高玻璃蚀刻效果。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法


[0001]本专利技术涉及蚀刻
，尤其涉及一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法。

技术介绍

[0002]近来已经研究了多种电子产品显示器，诸如液晶显示器（LCD）、等离子显示板（PDP）、电致发光显示器（ELD）以及真空荧光显示器（VFD）。在这些显示器当中，玻璃（如TFT、LCD）由于其良好的图像质量和低功耗而被最积极地研究，尽管它具有多种缺陷。
[0003]玻璃在生产出来以后因客户需求的不同从而使得玻璃要对其厚度进行削减，因此出现了一种蚀刻槽，将玻璃放进蚀刻槽的内部，通过加入适当的药水，使得其厚度得到消减，蚀刻槽在玻璃厚度削减方面起到越来越重要的作用。然而，在蚀刻处理中生成的杂质附着于玻璃的表面，使得玻璃的表面变得粗糙，因此，需要去除玻璃表面的杂质。
[0004]在相关技术中，通过采用向蚀刻槽内充入空气，在蚀刻槽内形成气泡，并通过气泡分裂分离附着在玻璃表面的杂质。但是在蚀刻槽内进行蚀刻的玻璃尺寸及玻璃数量不同，常规的向蚀刻槽内充气方式，容易造成玻璃杂质去除不均，影响玻璃蚀刻质量。

技术实现思路

[0005]为了解决玻璃蚀刻过程中，表面蚀刻杂质去除不均的问题，本申请提供一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法。
[0006]本申请提供一种玻璃减薄的蚀刻系统，包括水池和用于输送玻璃的输送单元，所述水池上端开口，并与所述输送单元对应；所述水池的一内侧壁面上安装有鼓气组件；所述鼓气组件包括多个气泡生成单元，多个所述气泡生成单元均包括用于连通气源的导气管，所述导气管上安装有多个气泡生成器，所述气泡生成器均与所述导气管内部连通，所述气泡生成器的气泡出口均朝向所述水池内部；多个所述气泡生成单元彼此独立。
[0007]通过采用上述技术方案，采用多个气泡生成单元在水池内形成气泡，并在气泡上升的过程中发生破裂以分离附着在玻璃表面上的杂质，同时多个气泡生成单元彼此独立工作，从而能够根据蚀刻玻璃的量进行不同数量的气泡生成单元工作，以产生不同的气泡量。
[0008]进一步的，所述鼓气组件还包括基座，多个所述气泡生成单元沿第一方向排列设置在所述基板上，所述鼓气组件还包括位于多个所述气泡生成单元两端的密封罩，位于同一端的多个所述气泡生成单元中导气管均与同一个所述密封罩连通，每个所述密封罩均连通所述气源。
[0009]通过采用上述技术方案，采用两个密封罩同时多个导气管的两端分别密封，保证了导气管与气源之间的密封性，使得密封罩连通的气源能够从导气管的两端接入导气管中，同时，能够使气源先进入密封罩再进入导气管。
[0010]进一步的，每个所述密封罩内均设有封堵板，所述封堵板上均设有多个连通孔，多个所述连通孔在所述第一方向上间隔分布，并与多个所述导气管的一一对应；其中一个所述封堵板上多个所述连通孔的开孔长度在第一方向上逐渐增大， 另
一个所述封堵板上多个所述连通孔的开孔长度在第一方向上逐渐减小。
[0011]通过采用上述技术方案，将进入密封罩的气源能够根据封堵板的位置，进入不同的导气管中，从而实现不同数量的气泡生成单元在水池内产生气泡，以适应水池内不同数量的玻璃；同时，两个密封罩内封堵板的连通孔设置方向相反，从而能够需要调整不同位置处的气泡生成单元接入气源，以适应水池内不同位置处的玻璃。
[0012]进一步的，所述封堵板上均连接有驱动其沿第一方向移动的驱动单元。
[0013]通过采用上述技术方案，方便驱动封堵板能够根据实际需要进行移动，以适应所需数量或位置的气泡生成单元接入气源并进行气泡产生的工作。
[0014]进一步的，所述基座上还设有屏蔽罩，多个所述气泡生成单元和所述密封罩均位于所述屏蔽罩内，所述气泡生成器均包括细微孔，所述细微孔贯穿所述屏蔽罩并延伸至所述屏蔽罩外部。
[0015]通过采用上述技术方案，屏蔽罩能够在水池内与蚀刻液接触，避免蚀刻液浸入鼓气组件内。
[0016]进一步的，所述水池包括用于安装所述鼓气组件的安装腔，所述安装腔位于所述水池的壁面上；所述安装腔包括朝向所述水池中部的安装开口，所述气泡生成器沿所述安装开口朝向所述水池中部。
[0017]通过采用上述技术方案，确保鼓气组件的气泡生成器能够对应在水池内部，并直接与蚀刻液接触，从而能够在蚀刻液内生成气泡。
[0018]进一步的，所述水池还包括用于密封所述安装开口的可拆卸式仓门；所述安装腔内还设有用于滑动安装所述基板的滑轨组件，所述鼓气组件沿所述滑轨组件朝向所述安装开口往复移动；所述基座上用于安装所述气泡生成单元所在面的尺寸大于所述安装开口的尺寸，所述屏蔽罩尺寸不超过所述安装开口的尺寸。
[0019]通过采用上述技术方案，采用可拆卸式仓门，仓门在拆卸后，可方便将鼓气组件安装在水池的壁面上，水池作为蚀刻池，从而通过鼓气组件在水池内产生气泡，同时，仓门在封闭后，水池可作为清洗池，相比于常规蚀刻系统中水池固定的使用位置，提高水池使用的灵活性；而基座和屏蔽罩的尺寸设置也保证了鼓气组件与水池避免安装的密封性。
[0020]进一步的，所述水池的一壁面上设有多个所述鼓气组件，并沿第二方向分布。
[0021]通过采用上述技术方案，提高气泡在水池中生产的灵活性，可在水池不同的位置产生气泡，并产生不同的气泡量，进一步提高其使用的灵活性。
[0022]进一步的，所述水池连通有蚀刻液循环系统，所述蚀刻液循环系统包括蚀刻液存储单元和多个依次连通的沉淀箱，所述蚀刻液存储单元与所述水池通过第一管道连通，至少一所述沉淀箱与所述水池通过第二管道连通，且至少一所述沉淀箱与所述第一管道连通。
[0023]通过采用上述技术方案，能够将蚀刻液回收利用，降低生产成本。
[0024]本申请还提供一种玻璃减薄的蚀刻方法，包括上述的蚀刻系统，所述方法包括以下步骤：
玻璃上料，将待蚀刻的玻璃放置在输送单元上，并通过输送单元向水池进行输送；玻璃清洗，通过输送单元将玻璃放置在一水池中进行清洗，清洗待蚀刻玻璃表面脏污；蚀刻减薄，通过输送单元将玻璃放置在另一水池中，并向该水池中注入蚀刻液，在玻璃的蚀刻过程中，根据玻璃数量或位置调整鼓气组件产生的气泡量；检验，检验玻璃是否蚀刻至目标厚度，如果未达到目标厚度，再次进行蚀刻减薄步骤，如果达到目标厚度，则完成蚀刻工序。
[0025]通过采用上述技术方案，能够根据玻璃在蚀刻过程中的需要，调整气泡的生产量和位置，适应玻璃蚀刻厚度，使得蚀刻更加均匀，提高玻璃蚀刻效果，使用更加灵活方便。
[0026]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：能够根据蚀刻玻璃的量进行不同数量的气泡生成单元工作，以产生不同的气泡量，并能够根据玻璃尺寸位置，在不同位置产生气泡，去除玻璃表面蚀刻杂质更加精准，蚀刻更加均匀，提高玻璃蚀刻效果。
[0027]在玻璃蚀刻过程中，使用更加灵活方便，精准有效，也减少了不必要的气源浪费，降低成本。
[0028]蚀刻系统中可对水池内的蚀刻液进行回收利用，重复使用，进一步降低生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃减薄的蚀刻系统，其特征在于，包括水池（100）和用于输送玻璃的输送单元，所述水池（100）上端开口，并与所述输送单元对应；所述水池（100）的一内侧壁面上安装有鼓气组件（200）；所述鼓气组件（200）包括多个气泡生成单元（21），多个所述气泡生成单元（21）均包括用于连通气源的导气管（211），所述导气管（211）上安装有多个气泡生成器（212），所述气泡生成器（212）均与所述导气管（211）内部连通，所述气泡生成器（212）的气泡出口均朝向所述水池（100）内部；多个所述气泡生成单元（21）彼此独立。2.根据权利要求1所述的蚀刻系统，其特征在于，所述鼓气组件（200）还包括基座（22），多个所述气泡生成单元（21）沿第一方向排列设置在所述基板上，所述鼓气组件（200）还包括位于多个所述气泡生成单元（21）两端的密封罩（23），位于同一端的多个所述气泡生成单元（21）中导气管（211）均与同一个所述密封罩（23）连通，每个所述密封罩（23）均连通所述气源。3.根据权利要求2所述的蚀刻系统，其特征在于，每个所述密封罩（23）内均设有封堵板（24），所述封堵板（24）上均设有多个连通孔（25），多个所述连通孔（25）在所述第一方向上间隔分布，并与多个所述导气管（211）的一一对应；其中一个所述封堵板（24）上多个所述连通孔（25）的开孔长度在第一方向上逐渐增大， 另一个所述封堵板（24）上多个所述连通孔（25）的开孔长度在第一方向上逐渐减小。4.根据权利要求3所述的蚀刻系统，其特征在于，所述封堵板（24）上均连接有驱动其沿第一方向移动的驱动单元（26）。5.根据权利要求2所述的蚀刻系统，其特征在于，所述基座（22）上还设有屏蔽罩（27），多个所述气泡生成单元（21）和所述密封罩（23）均位于所述屏蔽罩（27）内，所述气泡生成器（212）均包括细微孔（2121），所述细微孔（2121）贯穿所述屏蔽罩（27）并延伸至所述屏蔽罩（27）外部。6.根据权利要求5所述的蚀刻系统，其特征在于，所述水池（...

【专利技术属性】
技术研发人员：易文辉，
申请(专利权)人：苏州凯利昂光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：