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本实用新型公开了一种真空抽气装置,包括抽真空室、抽气管路、连接管路、阀门、罗茨泵和机械泵,抽真空室底部设置至少四个抽气口,抽气管路的数量与抽气口数量相同,抽气管路分别与抽气口连接,抽气管路通过连接管路与阀门的一端连接,罗茨泵和机械泵串联后与...该专利属于苏州凯利昂光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州凯利昂光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种真空抽气装置,包括抽真空室、抽气管路、连接管路、阀门、罗茨泵和机械泵,抽真空室底部设置至少四个抽气口,抽气管路的数量与抽气口数量相同,抽气管路分别与抽气口连接,抽气管路通过连接管路与阀门的一端连接,罗茨泵和机械泵串联后与...