打线接合装置制造方法及图纸

打线接合装置1包括：超音波焊头7，具有可装卸地保持焊针8的孔7h；焊针保持部11，可装卸地保持供插入至孔7h的焊针8；致动器13，以将经焊针保持部11保持的焊针8插入至孔7h的方式，使焊针保持部11移动；及焊针引导部12，伴随致动器13所致的焊针保持部11的移动而将焊针8引导至孔7h。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】打线接合装置
本公开涉及一种打线接合(wirebonding)装置。
技术介绍
专利文献1公开一种打线接合装置。打线接合装置具有作为接合工具(bondingtool)的焊针(capillary)。打线接合装置通过使用所述焊针对打线赋予热或超音波振动等，而将打线连接于电极。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2018-6731号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在电子设备的制造工厂中，为了制造大量的电子设备而使多个制造装置工作。若制造装置的数量增加，则可使生产数增加。另一方面，制造装置需要各种维护(maintenance)作业。于是，需要同制造装置的数量相应的维护作业。因此，生产数的增加与维护作业的负荷处于相悖的关系。因此，若可不依赖于作业者的手而自动进行维护作业，则可减少维护作业的负荷。打线接合装置具有作为所述维护作业之一的焊针更换作业。因此，所述
中，期望焊针的更换作业的自动化。例如，期望在将已使用的焊针卸除的状态下，将新的焊针安装于打线接合装置的作业的自动化。鉴于所述背景，本公开的目的在于提供一种可实现将新的焊针安装于打线接合装置的作业的自动化的打线接合装置。解决问题的技术手段本公开的一实施例的打线接合装置包括：焊针保持部，可装卸地保持焊针；致动器(actuator)，以将经焊针保持部保持的焊针插入至接合工具的焊针保持孔的方式，使保持有焊针的焊针保持部沿着规定的方向移动；及焊针引导部，配置于焊针保持部与接合工具之间，伴随焊针保持部的移动而将焊针引导至焊针保持孔，焊针保持部具有固定于致动器的焊针基底部、及以使焊针相对于焊针基底部的位置可相对移位的方式进行保持的可挠部。所述打线接合装置中，经焊针保持部保持的焊针一面经焊针引导部引导一面插入至焊针保持孔中。因此，即便焊针相对于焊针保持孔偏移，也通过焊针引导部来修正偏移。进而，焊针保持部中，相对于固定于致动器的焊针基底部，可挠部以可相对移位的方式保持焊针的位置。其结果，即便在除了焊针相对于焊针保持孔的偏移以外，焊针引导部相对于焊针保持孔偏移的情形时，也能以使焊针追随焊针引导部及焊针保持孔的方式，一面使焊针的姿势变化一面插入。因此，可不依赖于作业者的手而将新的焊针自动安装于打线接合装置。一实施例的打线接合装置中，致动器可具有：基底部；及移动体，配置于基底部上，安装有焊针保持部并使焊针保持部移动，且焊针引导部固定于基底部。根据所述结构，可容易地维持通过致动器而移动的焊针保持部与焊针引导部的相对位置关系。因此，可通过焊针引导部可靠地将焊针安装于接合工具。一实施例的打线接合装置中，可挠部可具有：弹性部，一端部固定于焊针基底部；及限制部，设于弹性部的另一端部，限制焊针。根据所述结构，可使弹性部以焊针基底部为基础而弹性变形。而且，在弹性部的另一端部设有限制部，所述限制部限制焊针。因此，焊针相对于焊针基底部的相对位置可通过弹性部而移位。因此，可更可靠地将焊针安装于接合工具。一实施例的打线接合装置中，限制部可与焊针的锥面进行线接触。根据所述结构，限制部可容许所保持的焊针的倾斜。因此，焊针的姿势可更灵活地移位，故而可进一步将焊针可靠地安装于接合工具。一实施例的打线接合装置中，限制部可为圆环(torus)状的O形环，且弹性部为线圈弹簧。根据所述结构，可利用简易的结构来构成焊针保持部。一实施例的打线接合装置中，焊针保持部可具有：软管，包含作为限制部的上端开口缘及作为弹性部的本体部；盖，将软管的下端封闭；及筒状的管道，下端经盖封闭，收纳软管，且管道的刚性高于软管，在管道的内周面与软管的外周面之间设有间隙。根据所述结构，可通过软管使焊针的姿势移位。进而，管道存在于软管的外侧，故而可通过管道将焊针的移位限制于容许范围。因此，可将焊针可靠地安装于接合工具。另一实施例的接合装置包括：焊针保持部，可装卸地保持焊针；致动器，以使经焊针保持部保持的焊针插入至接合工具的焊针保持孔的方式，使保持有焊针的焊针保持部沿着规定的方向移动；及焊针引导部，配置于焊针保持部与接合工具之间，伴随焊针保持部的移动而将焊针引导至焊针保持孔，在焊针引导部中，设有将焊针引导至焊针保持孔的引导孔，焊针引导部具有施力构件，所述施力构件对插入至引导孔中的焊针提供朝向与引导孔的轴线交叉的方向的力。根据所述结构，焊针一面由施力构件按压于焊针引导部的壁面，一面朝向规定的方向而经引导。其结果，焊针可不倾斜而以稳定的状态移动。因此可进一步将焊针可靠地导向接合工具的焊针保持孔。另一实施例的接合装置中，引导孔可包含沿着焊针的插入方向排列的第一孔部及第二孔部，且第一孔部为直径朝向插入方向减小的锥孔，第二孔部与焊针保持孔同轴地配置，以沿着焊针保持孔的轴线的方式引导焊针。根据所述结构，可将焊针更可靠地导向焊针保持孔。另一实施例的接合装置中，焊针引导部也可包含形成有第一孔部的锥部及形成有第二孔部的引导部，且施力构件设于引导部。根据所述结构，可将焊针更可靠地导向焊针保持孔。专利技术的效果根据本公开，提供一种可实现将新的焊针安装于打线接合装置的作业的自动化的打线接合装置。附图说明图1为表示实施例的打线接合装置的立体图。图2为将图1所示的打线接合装置具有的焊针更换部放大表示的立体图。图3为将焊针保持部的一部分剖视表示的立体图。图4为说明焊针保持部的动作的图。图5为将焊针引导部的一部分剖视表示的立体图。图6为表示由焊针保持部及焊针引导部发挥的焊针的引导功能的图。图7为表示由焊针保持部及焊针引导部发挥的焊针的另一引导功能的图。图8为表示图2所示的焊针更换部具有的致动器的主要部分的平面图。图9为说明致动器的动作原理的图。图10为说明致动器的具体控制的图。图11为说明致动器的具体控制的图。图12为表示焊针更换部的主要动作的图。图13为表示继图12之后的焊针更换部的主要动作的图。图14为表示继图13之后的焊针更换部的主要动作的图。图15为表示继图14之后的焊针更换部的主要动作的图。图16为表示变形例的焊针保持部的剖面的立体图。图17为表示另一变形例的焊针引导部的立体图。图18为图17所示的焊针引导部的正面图。图19为图17所示的焊针引导部的平面图。具体实施方式以下，一方面参照随附附图一方面对本公开的致动器以及打线接合装置进行详细说明。附图的说明中对相同部件标注相同符号，省略重复说明。图1所示的打线接合装置1例如使用细径的金属打线将设于印刷基板等的电极、与安装于所述印刷基板的半导体元件的电极加以电连接。打线接合装置1对打线提供热、超音波或压力而将打线连接于电极。打线接合装置1具有基底2、接合部3、及搬送部4。接合部3进行所述连接作业。搬送部4将作为被处理零件的印刷基板等搬送至接合区域。接合部3含有接合工具6，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种打线接合装置，包括：/n焊针保持部，能够装卸地保持焊针；/n致动器，以将经所述焊针保持部保持的所述焊针插入至接合工具的焊针保持孔的方式，使保持有所述焊针的所述焊针保持部沿着规定的方向移动；及/n焊针引导部，配置于所述焊针保持部与所述接合工具之间，伴随所述焊针保持部的移动而将所述焊针引导至所述焊针保持孔，/n所述焊针保持部具有固定于所述致动器的焊针基底部、及以使所述焊针相对于所述焊针基底部的位置能够相对移位的方式进行保持的可挠部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180130 JP 2018-013317;20190129 JP 2019-0128421.一种打线接合装置，包括：
焊针保持部，能够装卸地保持焊针；
致动器，以将经所述焊针保持部保持的所述焊针插入至接合工具的焊针保持孔的方式，使保持有所述焊针的所述焊针保持部沿着规定的方向移动；及
焊针引导部，配置于所述焊针保持部与所述接合工具之间，伴随所述焊针保持部的移动而将所述焊针引导至所述焊针保持孔，
所述焊针保持部具有固定于所述致动器的焊针基底部、及以使所述焊针相对于所述焊针基底部的位置能够相对移位的方式进行保持的可挠部。


2.根据权利要求1所述的打线接合装置，其中
所述致动器具有：
基底部；及
移动体，配置于所述基底部上，安装有所述焊针保持部并使所述焊针保持部移动，
所述焊针引导部固定于所述基底部。


3.根据权利要求1或2所述的打线接合装置，其中
所述可挠部具有：
弹性部，一端部固定于所述焊针基底部；及
限制部，设于所述弹性部的另一端部，限制所述焊针。


4.根据权利要求3所述的打线接合装置，其中
所述限制部与所述焊针的锥面进行线接触。


5.根据权利要求3或4所述的打线接合装置，其中
所述限制部为圆环状的O形环，
所述弹性部为线圈弹簧。
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【专利技术属性】
技术研发人员：内田洋平，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本;JP