【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种检测装置,特别涉及一种晶片检测装置。
技术介绍
在测量晶片的角度时,需要通过一个平板将晶片进行定位。该平板为晶片角度测量时在x射线定向仪上面的基准。测量时将平板固定在定向仪的大度轮上,转动与大度轮连接的小度轮,带动大度轮转动,可以找到晶片原子面的反 射角度,再根据平板(相当于晶片平面)与原子面的夹角,来测量晶片角度。因此, 平板对于晶片角度测量的精度非常重要。目前定位晶片的平板通常采用平面磨床磨过的金属板,当在晶片大量的测 量过程中,平板容易遭受磨损,造成平板表面的粗糙度增大。由于晶片在测量 时无法与平板紧贴,晶片测量过程中,当平板与晶片之间出现相对运动产生的 摩擦,容易在晶片的表面磨出黑色印迹。虽然通过清洗可以去除这些黑色印迹, 但清洗却后会造成晶片的损耗。另外,晶片不容易放置。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术的目的是提供避免晶片遭受磨损的晶片检 测装置,并且还便于放置晶片,以及能使晶片紧贴于平板上。本技术的目的是这样实现的晶片定位平板上设有连接大度轮的安装孔, 所述晶片定位平板为耐磨的氧化锆陶瓷平板,晶片定位平板上设有多个吸气孔。 所述多个吸气孔布置成多列,其中位于左列和右列吸气孔的数目相等,位于左 列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目相等,位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目多于左列或右列吸气孔的数目。采用了上述方案,晶片定位平板为耐磨的氧化锆陶瓷平板。氧化锆陶瓷使 得该晶片定位平板具有及好的耐腐蚀性和化学稳定性,在应力诱导下发生马氏 体相变而吸收应变能,在常温下具有最高的抗折强度和断裂韧性,因而具有出 色的耐磨性能。晶片定位 ...
【技术保护点】
一种晶片检测装置,晶片定位平板上设有连接大度轮的安装孔,其特征在于:所述晶片定位平板为耐磨的氧化锆陶瓷平板,晶片定位平板上设有多个吸气孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:任先林,宋秦川,
申请(专利权)人:常州松晶电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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