晶棒专用测量平板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种测量装置，特别涉及一种晶棒专用测量平板。本实用新型专利技术平板的下部设有安装孔，所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。本实用新型专利技术可以增大与被测量晶棒的接触面积，减小晶棒的磨损率，以及还能使晶棒紧贴于平板上的优点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种测量装置，特别涉及一种晶棒专用测量平板。
技术介绍
"T"型石英晶棒的准确测量，是该石英晶棒切割成石英晶片前对晶棒粘胶 时基准面和调整面的测角，测量的标准程度，直接影响石英晶片的角度。测量石英晶棒大多通过平板进行定位。目前X射线定向仪上使用的平板， 是宽度为30mm的平板，这种平板是为测量宽度为25mm左右的晶片设计，在 测量石英晶片时完全够用。但在测量石英晶棒时，由于石英晶棒长度为210mm 左右，平板相对于石英晶棒的长度过于太短，容易造成石英晶棒磨损变形，石 英晶棒放置不稳，测量的晶棒YY'方向角度不对称，比如一头为+3'，另外一 头为-2'，在粘胶调整时不知调整哪个角度等缺点。另外，平板的宽度同对角 器上面的基准平板长度相差太大，造成测量区域与粘胶时的作为基准的区域不 一致也会形成误差，从而导致影响石英晶片的切割精度。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶棒专用测量夹板，它 可以增大与被测量晶棒的接触面积，减小晶棒的磨损率，以及还能使晶棒紧贴 于平板上的优点。本技术的目的是这样实现的平板的下部设有安装孔，所述平板上部 的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。所述平板的长度和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度。所述多个吸气孔布置成多列，其中位于左列和右列吸气孔的数目相等，位 于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目相等，位于左列和右列吸气孔之间 的各列吸气孔数目多于左列或右列吸气孔的数目。采用了上述方案，平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上 部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，左、右支撑板的长度之和为晶棒长度 的三分之二，通过支、右撑板的支撑作用，可以增大晶棒与平板的接触面积， 容易与平板紧贴，减少因磨损出现的误差。平板的中间区域设有多个吸气孔， 晶棒检测时，在平板的吸气孔区域连接抽气泵，通过抽气泵经吸气孔产生负压， 进一步增强晶棒与平板的紧贴性。而且通过负压还可便于将晶棒放置到平板上， 利于提高工作效率。所述平板的长度和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度。使 测量区域同调整区域一致，造成测量区域与粘胶时的作为基准的区域不一致也 会形成误差，从而导致影响晶片的切割精度。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步说明。附图说明图1为本技术的一种优选实施例的结构示意附图中，l为平板，2为安装孔，3为左支撑板，4为右支撑板，5为吸气孔。具体实施方式参照图l，本技术的晶棒专用测量平板，平板l的下部设有安装孔2。 平板l上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板3，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板4，形成"T"型的平板，左、右支撑板与平板1 一体成型。 平板1和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度，使得测量区域与 平板粘胶时的作为基准的区域一致，以减少测量误差。左、右支撑板3、 4的长度之和为150mm，为晶棒长度的三分之二左右，可增大晶棒与支撑板的接触面 积。平板l的中间区域设有多个吸气孔5，这些吸气孔布置成多列，其中位于左 列和右列吸气孔的数目相等，位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目相 等，位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目多于左列或右列吸气孔的数 目。在平板的吸气孔区域连接抽气泵，通过抽气泵经吸气孔产生负压。晶棒检 测时，可进一步增强晶棒与平板的紧贴性。本技术结构虽然较为简单，但实用性强。上述实施例是用于说明本技术，而不是对本技术的限制，在实用 新型的构思前提下对技术的改进，都属于本技术权利要求保护的范围。权利要求1. 一种晶棒专用测量平板，平板的下部设有安装孔，其特征在于所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。2. 根据权利要求l所述的晶棒专用测量平板，其特征在于所述平板的长度和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度。3. 根据权利要求l所述的晶棒专用测量平板，其特征在于所述多个 吸气孔布置成多列，其中位于左列和右列吸气孔的数目相等，位于左列和 右列吸气孔之间的各列吸气孔数目相等，位于左列和右列吸气孔之间的各 列吸气孔数目多于左列或右列吸气孔的数目。专利摘要本技术涉及一种测量装置，特别涉及一种晶棒专用测量平板。本技术平板的下部设有安装孔，所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。本技术可以增大与被测量晶棒的接触面积，减小晶棒的磨损率，以及还能使晶棒紧贴于平板上的优点。文档编号G01B21/22GK201237501SQ20082004114公开日2009年5月13日 申请日期2008年7月30日 优先权日2008年7月30日专利技术者任先林, 宋秦川 申请人:常州松晶电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶棒专用测量平板，平板的下部设有安装孔，其特征在于：所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任先林，宋秦川，
申请(专利权)人：常州松晶电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]