【技术实现步骤摘要】
用于晶体的晶格原子面角度测量装置
本技术涉及一种用于晶体的晶格原子面角度测量装置。
技术介绍
从晶体上切割下来的薄片,其切割面与晶体晶格原子面的角度对于实际使用有重要意义,这个角度需要得到精确的测量值。测量晶体晶格原子面的角度,采用与晶格原子距离相近波长的x光照射晶体,产生衍射,测量x光的衍射角度就可以知道晶体晶格原子面角度。公知的测量装置包括一个可转动的载台,载台的轴上带有一个齿轮,用蜗杆驱动齿轮使载台转动,利用蜗杆装置大的传动比,在蜗杆上标上刻度来反映载台轴的转动角度。因为机械加工精度、间隙、回差以及在蜗杆上标刻度读数的原因,角度测量误差比较大。尤其是此角度读数是从蜗杆上得到,误差与传动比相关,传动比越大误差越大,所以不可能得到很高的角度测量精度,一般误差在只能控制到20-30角秒的范围,市场上需要一种晶格原子面测量精度更高的测量装置。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术的缺陷,提供一种用于晶体的晶格原子面角度测量装置,本技术可以直接测量轴上的角度,避免原有的与传动有关的误差,采用简单可靠的结构变微小的角度为长度来达到1角秒的角度测量精度值,本技术实施简单,操作方便。-->本技术的技术方案是这样的:一种用于晶体的晶格原子面角度测量装置,包括一个机台,机台上设置作为载台的转轴,其特征在于,作为载台的转轴上安装有一个径向摆杆,摆杆在转轴的轴端设置有弧形安装孔,以便转轴在大范围内转动时调整;摆杆另一端连接一个连杆,连杆两端分别安装两个销钉,分别通过两个销钉连接到所述摆杆的一端和滑块安装板,并且连杆与销钉有相对的转动空间;滑块安装板通过4个滑块安装板固定螺 ...
【技术保护点】
一种用于晶体的晶格原子面角度测量装置,包括一个机台(1),机台(1)上设置作为载台的转轴(2),其特征在于,作为载台的转轴(2)上安装有一个径向摆杆(3),摆杆(3)在转轴(2)的轴端设置有弧形安装孔(17),以便转轴(2)在大范围内转动时调整;摆杆(3)另一端连接一个连杆(4),连杆(4)两端分别安装两个销钉(11),分别通过两个销钉(11)连接到所述摆杆(3)的一端和滑块安装板(6),并且连杆(4)与销钉(11)有相对的转动空间;滑块安装板(6)通过4个滑块安装板固定螺钉(9)安装到滑块(15)上,滑块(15)安装在滑轨(14)上,所述滑块(15)只能在滑轨(14)上沿一条直线运动;滑轨(14)通过滑轨固定螺钉(16)装在滑轨固定板(5)上,滑轨(14)在空间位置上平行于摆杆(3)运动面并且垂直于摆杆(3),滑轨固定板(5)安装在机台(1)上。
【技术特征摘要】
1、一种用于晶体的晶格原子面角度测量装置,包括一个机台(1),机台(1)上设置作为载台的转轴(2),其特征在于,作为载台的转轴(2)上安装有一个径向摆杆(3),摆杆(3)在转轴(2)的轴端设置有弧形安装孔(17),以便转轴(2)在大范围内转动时调整;摆杆(3)另一端连接一个连杆(4),连杆(4)两端分别安装两个销钉(11),分别通过两个销钉(11)连接到所述摆杆(3)的一端和滑块安装板(6),并且连杆(4)与销钉(11)有相对的转动空间;滑块安装板(6)通过4个滑块安装板固定螺钉(9)安装到滑块(15)上,滑块(15)安装在滑轨(14)上,...
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