【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过磁场感应信号的方式传感两个构件之间的移动或位置,更具体地说,本专利技术涉及对读出头与标尺构件不完全平行可能产生的潜在信号误差进行补偿的感应电流位置传感器。目前能够提供各种各样的移动或位置传感器,如光学、电容、磁性和电感式传感器。这些传感器常常要将发射器和接收器放置在各种几何结构中,以便测量传感器的两个构件之间的移动。光学、电容和磁性传感器对于易受污染影响。因此,在绝大多数的制造或车间环境中采用这些传感器是不实际的。在车间环境中采用这类传感器需要昂贵有时还不可靠的环境密封装置或者其它传感器封装方法,以使传感器不受灰尘、油或铁磁颗粒的沾污。1995年5月16日提交的美国专利申请08/441,769描述了一种在高精确度应用中使用的感应电流位置传感器,这里将其全文引作参考。1996年5月13日提交的美国专利申请08/645,483和08/645,490描述了增加位置感应卡尺和直尺,包括信号发生和处理电路,这里将二者都引作参考。1997年1月29日提交的美国专利申请08/788,469、08/790,494和08/790,459描述了利用这种感应电流 ...
【技术保护点】
一种倾斜补偿的感应电流位置传感器,包括: 至少包括一根沿测量轴排列的标尺元件的第一构件; 与所述第一构件相邻的并可相对其移动的第二构件; 位于所述第二构件,产生变化磁通量的至少一个磁场发生器;及 位于所述第二构件上的至少一个磁通量传感器; 其特征在于: a)每个磁场发生器和b)每个磁通量传感器中有一个包括具有限定空间相位的空间调制部分; 所述的至少一个标尺对所述至少一个磁场发生器与所述至少一个磁通量传感器之间的有效磁通量耦合进行空间调制,每个磁通量传感器产生一输出,表示该磁通量传感器与所述至少一个磁通量标尺元件之间的相对位置;以及 ...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:NI安德姆,KG马斯雷利茨,
申请(专利权)人:株式会社三丰,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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