【技术实现步骤摘要】
局部涂层石英坩埚
本技术属于坩埚制造
,具体涉及一种局部涂层石英坩埚。
技术介绍
石英坩埚通常是Czochralski法(CZ法)拉制单晶硅棒的重要辅件。石英坩埚作为硅料的载体有着不可替代的作用。目前太阳能行业单晶硅拉制普遍采用带有水冷导流筒的单晶炉进行拉制,水冷导流筒可增加热场内部的温度梯度,可明显提高单晶硅的生长速度,但在单晶硅拉制收尾阶段,石英坩埚内硅液较少,水冷导流筒带走热量较多,需不断提高加热器功率进行温度补偿防止硅液结晶,过程中石英坩埚外侧温度逐渐增加,粘度下降,最终导致石英坩埚变形,造成收尾中断,同时无法再次加料来拉制多根晶棒,导致石英坩埚使用效率降低,生产成本增加。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供一种局部涂层石英坩埚,以解决现有技术中存在的单晶硅拉制过程在,石英坩埚底部容易变形,导致坩埚使用效率低、生产成本高的技术问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种局部涂层石英坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的底部外侧涂覆有诱发析晶层,所述诱发析晶层由诱发析 ...
【技术保护点】
1.一种局部涂层石英坩埚,包括坩埚本体,其特征在于,所述坩埚本体的底部外侧涂覆有由诱发析晶相物质形成的诱发析晶层,所述诱发析晶层以所述坩埚本体底部中心点为圆心向四周延展,所述诱发析晶层最大直径为0.5D~0.8D,其中,D为所述坩埚本体的口径。/n
【技术特征摘要】
1.一种局部涂层石英坩埚,包括坩埚本体,其特征在于,所述坩埚本体的底部外侧涂覆有由诱发析晶相物质形成的诱发析晶层,所述诱发析晶层以所述坩埚本体底部中心点为圆心向四周延展,所述诱发析晶层最大直径为0.5D~0.8D,其中,D为所述坩埚本体的口径。
2.如权利要求1所述的局部涂层石英坩埚,其特征在于,所述诱发析晶层浓度为0.1×106mol/cm2~1×106mol/cm2。
3.如权利要求1所述的局部涂层石英坩埚,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:王建军,李常国,邓红,何玉鹏,
申请(专利权)人:宁夏富乐德石英材料有限公司,
类型:新型
国别省市:宁夏;64
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