【技术实现步骤摘要】
一种用于提高太阳能级大尺寸单晶生长用坩埚寿命的方法
本专利技术涉及光伏制造
,尤其是一种用于提高太阳能级大尺寸单晶生长用坩埚寿命的方法。
技术介绍
随着现有直拉法单晶炉投料量持续增加、取段次数增多,导致单晶炉运行时间大幅增加,石英坩埚变形的情况也更加频繁。目前,整个太阳能级大尺寸单晶热场结构主要分为三部分——第一部分是保温系统,由上保温桶、侧保温桶和下保温桶构成;第二部分是加热部分,由顶加热器、侧加热器及相关的支撑部分构成,其中包括石英坩埚和包覆于石英坩埚外的碳碳埚帮,二者均为直臂结构,石英坩埚内设有外导流筒;第三部分是坩埚及相应的承载冷却系统,包括与碳碳埚帮相连的石墨埚托。但是,石英坩埚和碳碳埚帮均为直壁结构,二者紧密结合,因此在高温下产生的气体无法排出,导致石英坩埚侧面变形鼓包;当石英坩埚侧面鼓包后,外导流筒与石英坩埚间距变小进而接触,发生摩擦、剐蹭等现象,硅溶液液面会抖动,使得无法正常拉晶;同时,石英坩埚直接坐到石墨埚托上,当石墨埚托未清理干净或石英坩埚底部存在质量问题时,坩埚与埚托之间产生的气体无法排出,导致石英坩埚底部变形鼓包,当此时继续加料,存在漏硅风险,只能进行停炉处理。
技术实现思路
本专利技术目的就是为了解决现有坩埚在使用中易变形鼓包、影响拉晶质量和生产效率的问题,提供了一种用于提高太阳能级大尺寸单晶生长用坩埚寿命的方法,可以有效减少石英坩埚变形鼓包的现象,维持正常的拉晶和设备的正常使用。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种用于提高太 ...
【技术保护点】
1.一种用于提高太阳能级大尺寸单晶生长用坩埚寿命的方法,其特征在于,包括以下具体步骤:/n步骤一:选点划线:在碳碳埚帮(4)的内壁上沿和下沿分别选取一组点,上下每点之间对应连一条线;/n步骤二:埚帮凹槽(4a)的开设:沿着每条连接线开设一条埚帮凹槽(4a),埚帮凹槽(4a)由上至下贯穿碳碳埚帮(4)的内壁;/n步骤三:圆环槽(6a)的开设:沿着石墨埚托(6)与碳碳埚帮(4)的连接处,在石墨埚托(6)上开设一圈圆环槽(6a);/n步骤四:埚托凹槽(6b)的开设:在石墨埚托(6)的表面中部开设一组埚托凹槽(6b),埚托凹槽(6b)相交于石墨埚托(6)内的一点,且每条埚托凹槽(6b)的两端均与圆环槽(6a)相通。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于提高太阳能级大尺寸单晶生长用坩埚寿命的方法,其特征在于,包括以下具体步骤:
步骤一:选点划线:在碳碳埚帮(4)的内壁上沿和下沿分别选取一组点,上下每点之间对应连一条线;
步骤二:埚帮凹槽(4a)的开设:沿着每条连接线开设一条埚帮凹槽(4a),埚帮凹槽(4a)由上至下贯穿碳碳埚帮(4)的内壁;
步骤三:圆环槽(6a)的开设:沿着石墨埚托(6)与碳碳埚帮(4)的连接处,在石墨埚托(6)上开设一圈圆环槽(6a);
步骤四:埚托凹槽(6b)的开设:在石墨埚托(6)的表面中部开设一组埚托凹槽(6b),埚托凹槽(6b)相交于石墨埚托(6)内的一点,且每条埚托凹槽(6b)的两端均与圆环槽(6a)相通。
2.根据权利要求1所述的用于提高太阳能级大尺寸单晶生长用坩埚寿命的方法,其特征在于:
圆环槽(6a)上开设一组垂直的通气圆孔(6c),通气圆孔(6c)的直径为3...
【专利技术属性】
技术研发人员:李世超,闫斌,张小虎,段俊飞,马新星,
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司,
类型:发明
国别省市:内蒙;15
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