一种用于单晶炉底部保温性提升的结构制造技术

本技术公开了一种用于单晶炉底部保温性提升的结构，包括开槽固毡（11），其上表面设有凹槽（11a），凹槽（11a）内填充有小尺寸软毡（4）；保温毡由下至上依次包括4层下部软毡（21）、1层开槽固毡一（111）、4层中部软毡（22）、1层开槽固毡二（112）和2层上部软毡（23）。本技术的优点是增强炉内底部的保温性，阻隔热量的流失，降低拉制单晶使用的功率，减小单晶炉使用所需费用的支出。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及rcz硅单晶制程中热场，尤其涉及一种用于单晶炉底部保温性提升的结构。

技术介绍

1、在直拉单晶硅的生长环境中，单晶炉内温度需保持在1400℃以上，目前单晶炉台主要的加热系统为主加热器和底加热器，根据主底加功率的不同，从而在整个热场中形成功率差，进而形成温度差，保证单晶炉拉制出品质优良的单晶硅棒。保温性则是与温度差密切相关，顶部保温、上保温、中保温、下保温，底部保温五个位置中，最为重要的就是底部保温更是重中之重。

2、在单晶炉底部的结构中，按照保温毡的种类分为黏胶基固态毡与黏胶基软毡，这两种保温毡形态、特点均不一样，所以在单晶炉底部的组成当中，两者都不可或缺，两种保温毡都必须存在。固态毡如图1所示，其是由石墨毡经高温热压加工制成的板材材料，具有高温稳定性好、耐磨性强、机械强度高等特点，适用于在单晶炉底部发挥支撑整个热场的作用，软毡则是由石墨纤维或石墨毡经针刺加工成的柔软纤维状材料，具有导热系数低、保温性能好、柔韧性高等特点，适用于单晶炉底部的保温与隔热。

3、现有的炉底保温主要由整体的保温毡构成，保温毡表面有7个孔位，4个电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于单晶炉底部保温性提升的结构，包括由固毡（1）与软毡（2）组成的保温毡，固毡（1）和软毡（2）上设有对应的孔位（3），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉底部保温性提升的结构，其特征在于：

3.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉底部保温性提升的结构，其特征在于：

4.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉底部保温性提升的结构，其特征在于：

5.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉底部保温性提升的结构，其特征在于：

6.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉底部保温性提升的结构，其特征在于：

【技术特征摘要】

1.一种用于单晶炉底部保温性提升的结构，包括由固毡（1）与软毡（2）组成的保温毡，固毡（1）和软毡（2）上设有对应的孔位（3），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉底部保温性提升的结构，其特征在于：

3.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉底部保温性...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘忠帅，严东，王鑫，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：