【技术实现步骤摘要】
单晶炉石墨坩埚提升机构
本技术是关于单晶硅制备设备领域,特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。
技术介绍
在直拉法单晶炉生产硅单晶的过程中,会涉及更换石墨坩埚。位于加热器内的石墨坩埚在更换过程中,由于坩埚外壁与加热器内壁距离较近,现有的安装方式为将石墨坩埚切成三瓣,人工装卸。本专利涉及的吊装机构可以实现装夹,安放和保护石墨坩埚,并且无需将坩埚做成三瓣,既节省人力又节省物力,还能做到不让其表面被其它材质污染,能更方便快捷地安装、拆卸石墨坩埚。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种单晶炉石墨坩埚提升机构。为解决上述技术问题,本技术采用的解决方案是:提供一种单晶炉石墨坩埚提升机构,包括提升架、旋转机构、转盘与提升块;提升架为环形,沿周向均布若干通孔;旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;锁紧块上端面上设有腰型槽;转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。作为一种改进,旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶,用于定位锁紧块。作为一种改进,转盘下端面设有垫块。作为一种改进,导向件为圆柱形,通过挡圈与转盘相连。作为一种改进,提升架顶端设有吊环。导向件材质为耐磨材料;旋转轴为碳碳复合材料,能在保证强度的情况下保护石墨坩埚外表面不 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,包括提升架、旋转机构、转盘与提升块;/n所述提升架为环形,沿周向均布若干通孔;/n所述旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;所述锁紧块上端面上设有腰型槽;/n所述转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,包括提升架、旋转机构、转盘与提升块;
所述提升架为环形,沿周向均布若干通孔;
所述旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;所述锁紧块上端面上设有腰型槽;
所述转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。
...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,傅林坚,胡建荣,高宇,倪军夫,叶钢飞,王鹏飞,吴虞超,谭庆,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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