一种单晶炉热场用导气罩制造技术

本技术公开了一种单晶炉热场用导气罩，筒体（21）的上部和下部分别连有上隔板（22）和下隔板（23），上隔板（22）上设有一组扇形孔洞一（22a），其扇形夹角为50°~80°，扇形孔洞一（22a）沿上隔板（22）周向均布，相邻两个扇形孔洞一（22a）之间设有筋板一（22b）；下隔板（23）的结构与上隔板（22）相同，其包括相配合的扇形孔洞二（23a）和筋板二（23b）；扇形孔洞一（22a）与扇形孔洞二（23a）上下交错分布，即扇形孔洞二（23a）的位置与上隔板（22）的筋板一（22b）的位置对齐。本技术的优点是不占用炉内热场空间，在实现大容量坩埚的前提下降低功耗，减少热量损失。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉晶棒生产，尤其涉及一种单晶炉热场用导气罩。

技术介绍

1、单晶硅晶棒的生产就是利用单晶炉及炉内热场将多晶硅熔化，用直拉法生长无错位单晶硅晶棒。随着光伏产业的快速发展，国内单晶硅产能迅速增长，行业内竞争激烈。降低生产成本是企业提高利润率的主要方式之一，单晶硅生产过程耗电量大，现有热场基础上，优化热场部件结构，能够达到降低功耗的目的。

2、现有导气筒为直筒状结构，如图1所示，上方安装导气罩，导气筒、导气罩都为石墨材质，导热系数大，由于导气筒直通炉底，热量损耗大。导气罩为侧向进气结构，因此，导气罩必须安装于热场保温毡上方。现有大热场需要更大的底加热器产生更多的热量，当使用石墨导气罩时，底加热器结构需避让导气罩，导致底加热器发热面积减少。

3、在现有热场结构基础上，不断升级大容量坩埚，为有效利用热场内空间，通过改变底加热器结构，取消导气罩，可增大坩埚高度，实现大容量坩埚，提高生产效率。但若取消导气罩，炉内热场通过导气筒直通炉底排气系统，热量损耗更大。

技术实现思路>

1、本技术目本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉热场用导气罩，包括导气罩的筒体（21），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

4.根据权利要求1~3任一项所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

5.根据权利要求2或3所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

6.根据权利要求4所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

7.根据权利要求1~3任一项所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉热场用导气罩，包括导气罩的筒体（21），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的单晶炉热场用导气罩，其特征在于：

4.根据权利要求1~3任一项所述的单...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕飞，文勇，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：