【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英晶片刻蚀设备，具体为一种定量加液的石英晶片刻蚀设备。
技术介绍
1、石英晶片的使用比较广泛，在生产过程中，需要使用刻蚀设备对晶片进行刻蚀，公告号为cn218436032u的技术专利公开了一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，包括储液罐，所述储液罐下端面设置有第一连通管，所述第一连通管端面设置有连通器，所述连通器外表面设置有第二连通管，所述第二连通管上端面设置有分液罐，所述连通器外表面设置有第三连通管，所述第三连通管端面设置有刻蚀机主体，所述连通器前表面开设有限位滑槽，所述连通器内部设置有双通块；该专利中通过第一连通管、连通器、第二连通管、第三连通管、双通块、转轴和转盘的配合设置，储液罐内可以储存大量的刻蚀溶液，只需转动转盘就可以将定量的刻蚀溶液加注到刻蚀机主体内，在加液过程中完全避免了工作人员与刻蚀溶液接触，提升了工作的安全性。
2、但是上述专利还存在以下不足：注液阀暴露在空气中，空气中的灰尘会在注液阀内部，在注液时，灰尘会进入装置内部，造成一定的影响，且液体具有腐蚀性，双通管在使用过程中，密封性容易降低，容易使定量...
【技术保护点】
1.一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，包括储液罐(1)、防尘机构(3)、密封机构(5)，其特征在于：所述储液罐(1)的外侧设置有注液阀(2)，所述注液阀(2)的外侧设置有防尘机构(3)，所述储液罐(1)的外侧固定连接有连接管一(4)，所述连接管一(4)上设置有密封机构(5)，所述连接管一(4)的外侧固定连接有加液组件(6)，所述加液组件(6)的外侧固定连接有连接管二(7)，所述连接管二(7)的外侧固定连接有分液罐(8)，所述加液组件(6)的外侧固定连接有连接管三(9)，所述连接管三(9)的外侧固定连接有刻蚀机主体(10)。
2.根据权利要求1所述的一种定量加...
【技术特征摘要】
1.一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，包括储液罐(1)、防尘机构(3)、密封机构(5)，其特征在于：所述储液罐(1)的外侧设置有注液阀(2)，所述注液阀(2)的外侧设置有防尘机构(3)，所述储液罐(1)的外侧固定连接有连接管一(4)，所述连接管一(4)上设置有密封机构(5)，所述连接管一(4)的外侧固定连接有加液组件(6)，所述加液组件(6)的外侧固定连接有连接管二(7)，所述连接管二(7)的外侧固定连接有分液罐(8)，所述加液组件(6)的外侧固定连接有连接管三(9)，所述连接管三(9)的外侧固定连接有刻蚀机主体(10)。
2.根据权利要求1所述的一种定量加液的石英晶片刻蚀设备，其特征在于：所述防尘机构(3)包括防尘盖(31)、把手(32)、卡孔(33)、弹性卡块(34)、橡胶块(35)，所述注液阀(2)的外侧滑动连接有防尘盖(31)，所述防尘盖(31)的外侧固定连接有把手(32)，所述防尘盖(31)的内部开设有卡孔(33)，所述卡孔(33)的内部接触有弹性卡块(34)，所述弹性卡块(34)与注液阀(2)固定连接。
3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：张立，周建红，
申请(专利权)人：深圳市圭华智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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