本发明公开了一种保持硅晶片干燥的光刻机，包括机体、安装支架、激光光路设备、掩模台、掩模板、透镜、集流板、旋转干燥组件、物料吸附机构、伺服电机、转盘和硅晶片本体，所述机体的上端边缘焊接有安装支架，所述安装支架的顶部设置有激光光路设备，所述...

本技术公开了一种用于太阳能电池的加工设备，包括机体，机体上设置有进料输送线、上料输送线和出料输送线，机体上位于上料输送线与出料输送线之间转动设置有旋转台，机体上位于旋转台与上料输送线之间设置有直角上料组件，机体上位于旋转台与出料输送线之...

本发明公开了一种激光刻蚀机自动上下料机构，包括底座，所述底座的外侧固定连接有横板，所述横板上设置有驱动机构，所述横板上滑动连接有移动架，所述移动架上固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端上设置有夹持机构，所述底座的内部转动连接有驱动辊...

本技术涉及一种晶圆直写机加工装置，包括加工模块，所述加工模块包括Z轴单元和直写单元，所述直写单元滑动设于所述Z轴单元上，所述Z轴单元的Z轴驱动器设有刹停机构，所述Z轴驱动器驱动所述直写单元相对于所述Z轴单元上下滑动并在刹停机构的作用下使...

本技术涉及一种晶圆直写机上料装置，包括上料模块，所述上料模块包括供料单元、出料单元、送料单元，晶圆容置于所述供料单元的供料仓中，所述供料单元的供料升降驱动器驱动所述供料仓上下运动以使所述供料仓运动至预定高度位置处，所述出料单元的出料抓手...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，包括机体、输送装置以及检测装置，机体设有上料位、加工位和位于所述上料位和所述加工位之间的检测位；输送装置设于所述机体，所述输送装置用于使所述上料位的硅片原料经过所述检测位后输送至所述加工位；检测装置包括...

本技术涉及一种激光修复机用输送装置，包括输送模块，所述输送模块包括输送框架和输送单元，所述输送框架的至少一个侧面部倾斜设置以使液晶屏斜靠于所述输送单元上，所述输送框架的倾斜侧面部上设置两个相邻的所述输送单元；所述输送单元包括设置于所述输...

本技术公开一种玻璃基板及非接触式的光伏电池制备设备，其中，玻璃基板具有相对设置的正面和背面，所述正面设有沟槽，所述沟槽用于填充制备光伏电池所需的浆料，其中，所述沟槽的宽度不小于3um；所述沟槽的深度不小于5um，且不大于200um，所述...

本技术涉及一种晶圆直写机校正平台，包括平台模块，所述平台模块包括Y轴单元、X轴单元、R轴单元，所述X轴单元滑动设于所述Y轴单元上并与所述Y轴单元正交布置，所述R轴单元滑动设于所述X轴单元上并垂直于所述X轴单元，所述R轴单元上设有用于吸附...

本技术涉及一种激光修复装置，包括修复模块，所述修复模块包括X轴单元、滑动设于所述X轴单元上的Y轴单元、设于所述Y轴单元上的扫描单元、滑动设于所述Y轴单元上的Z轴单元、滑动设于所述Z轴单元上的修复单元，所述Y轴单元沿所述X轴单元滑动以带动...

本技术涉及太阳能基板生产技术领域，特别涉及一种太阳能基板的双工位搬运平台及太阳能基板加工设备。其包括双动子移载模组、搬运治具，双动子移载模组包括两个动子滑块，每个动子滑块上安装有至少一个用于放置太阳能基板的搬运治具，双动子移载模组的中部...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，其中，太阳能硅片加工设备包括包括机体、激光加工装置、浆料涂布装置及治具转盘，治具转盘包括旋转机构、多个翻转机构和多个玻璃治具，旋转机构安装于激光加工装置和浆料涂布装置之间，多个翻转机构安装于旋转机构，翻...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，其中，太阳能硅片加工设备包括机体、上料装置、激光加工装置、浆料涂布装置、加工转盘及治具转盘，加工转盘包括第一旋转机构和多个载料座，多个载料座均安装于第一旋转机构，载料座用于接收上料装置的生料硅片后移动至...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，包括机体、治具转移装置、浆料涂布装置和激光加工装置，机体设有加工位和浆料涂布位；治具转移装置可活动地安装于机体，治具转移装置用于带动玻璃治具在加工位和浆料涂布位之间移动。浆料涂布装置包括安装于机体的安装...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，包括机体上料输送装置、下料输送装置以及转运机械手，机体设有加工位，加工位设有激光加工装置；上料输送装置设于机体，并与加工位间隔；下料输送装置设于机体，并与上料输送装置间隔；转运机械手包括旋转机构和两个取...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，包括机体、下料输送装置、转运机械手、熟料检测装置以及熟料回收装置，机体设有加工位和下料位；下料输送装置设于机体，并自加工位处延伸至下料位；转运机械手设于加工位和下料输送装置之间，并用于将经过加工位加工后...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，其中，太阳能硅片加工设备包括机体、上料装置、激光加工装置和加工转盘，上料装置设于机体；激光加工装置设于机体，并与上料装置间隔；加工转盘包括第一旋转机构、支撑座、校正模块和载料盘，第一旋转机构安装于上料装...

本技术公开一种太阳能硅片加工设备，包括机体、加工转盘、上料输送装置、转运机械手、破片检测装置、硅片定位装置、硅片定位装置以及回收装置；加工转盘设于机体，并具有多个载料座；上料输送装置设于机体，并用于输送生料硅片；转运机械手用于将上料输送...

本发明涉及一种晶圆缺陷检测机，包括机架模块，还包括运动模块和检测模块；所述运动模块设于所述机架模块上，用于提供线性和旋转运动及承载待检测的晶圆；所述检测模块设于所述机架模块上并位于所述运动模块的上方，用于对待检测的晶圆进行检测

本发明涉及一种曲面激光切割机，包括机架模块，还包括设于机架模块上的平台模块和切割模块，所述切割模块位于所述平台模块的上方；所述平台模块用于承载待加工工件并实现待加工工件在