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本技术公开了一种单晶炉热场用导气罩，筒体（21）的上部和下部分别连有上隔板（22）和下隔板（23），上隔板（22）上设有一组扇形孔洞一（22a），其扇形夹角为50°~80°，扇形孔洞一（22a）沿上隔板（22）周向均布，相邻两个扇形孔洞一（...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。

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