【技术实现步骤摘要】
一种用于拉制筒状材料的装置
本技术涉及新材料
,具体涉及一种用于拉制筒状材料的装置。
技术介绍
已知的,新材料产业具有技术高度密集,研究与开发投入高,产品的附加值高,生产与市场的国际性强,以及应用范围广,发展前景好等特点,其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济,社会发展,科技进步和国防实力的重要标志,世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。以靶材为例,基于物理气相沉积原理的溅射镀膜工艺,已广泛应用于液晶显示设备、太阳能电池、太阳能真空管、半导体芯片等
;而旋转型靶材是溅射镀膜工艺中常用的一种镀膜耗材,旋转型靶材一般由管状金属基材和镀膜材料层构成,正常做法是在管状金属基材外表面进行表面清洗或者吹砂完后就直接喷涂镀膜材料层,这种产品存在的问题是镀膜材料层与管状金属基材外表面结合强度较差,会影响旋转型靶材在溅射镀膜工艺中的正常使用。另一种工艺是在一个完整的锭型或棒形材料上用掏料装置掏出一个空心管料,然后将管料绑定在管状金属基材上,该工艺具有生产效率低,生产成本高及管料长度小等缺点,无法得 ...
【技术保护点】
1.一种用于拉制筒状材料的装置,包括籽晶夹头(1)、坩埚(5)和加热器(6),其特征是:所述坩埚(5)通过坩埚支撑座(7)设置在一个密闭的腔体内,在坩埚(5)的外部套接有加热器(6),在坩埚(5)上部的外缘面上间隔设有至少一组贯通至坩埚上端面的弧形槽(4),在每组弧形槽(4)的上方分别设有籽晶夹头(1),在所述籽晶夹头(1)的下端面设有环形籽晶(2),所述籽晶(2)的下端面对应且插入每组弧形槽(4)内。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于拉制筒状材料的装置,包括籽晶夹头(1)、坩埚(5)和加热器(6),其特征是:所述坩埚(5)通过坩埚支撑座(7)设置在一个密闭的腔体内,在坩埚(5)的外部套接有加热器(6),在坩埚(5)上部的外缘面上间隔设有至少一组贯通至坩埚上端面的弧形槽(4),在每组弧形槽(4)的上方分别设有籽晶夹头(1),在所述籽晶夹头(1)的下端面设有环形籽晶(2),所述籽晶(2)的下端面对应且插入每组弧形槽(4)内。
2.如权利要求1所述的用于拉制筒状材料的装置,其特征是:所述每组弧形槽(4)包括两个弧形槽(4),两个弧形槽(4)呈扇形设置。
3.如权利要求1...
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