一种防异物MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防异物MEMS麦克风,包括PCB基板、MEMS芯片、ASIC芯片、键合线和外壳；所述外壳设为第一壳体和第二壳体，所述第二壳体设在第一壳体的外层，第一壳体上设有声孔A，第二壳体上设有声孔B，所述第一壳体上的声孔A上还有滤网；所述MEMS芯片和ASIC芯片分别通过粘合剂固定在PCB基板的底部；所述MEMS芯片、ASIC芯片和PCB基板之间通过键合线实现电气连接；第一壳体的一壁和第二壳体的上壁是成一体的，另一壁开设空腔结构，空腔结构设在第一壳体声孔A的下方，第二壳体的声孔B与声孔A在同一侧。本实用通过改变外壳的结构，能减少异物进入麦克风内部，保证麦克风内部的洁净度，从而提高了麦克风工作的稳定性，避免因为异物导致的不良现象发生。

【技术实现步骤摘要】
一种防异物MEMS麦克风
本技术涉及半导体元件
，具体是一种防异物MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，与传统麦克风相比，MEMS麦克风可以采用表贴工艺进行制造,能够承受很高的回流焊温度,容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成,并具有改进的噪声消除性能与良好的RF及EMI抑制能，目前已经大量使用在语音通话，智能语音交互等智能终端领域。MEMS麦克风由于具有体积小、频响特性好、噪声低等特点，随着电子设备的小巧化、薄型化发展，MEMS麦克风得到了快速发展，目前已经大量使用在语音通话，智能语音交互等智能终端领域。以上
技术介绍
内容的公开仅用于辅助理解本技术的构思及技术方案，其并不必然属于本专利申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本专利申请的申请日已经公开的情况下，上述
技术介绍
不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种防异物MEMS麦克风。本方案提供的MEMS麦克风通过改变外壳的结构，能减少异物进入麦克风内部，保证麦克风内部的洁净本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防异物MEMS麦克风，其特征在于：包括PCB基板、MEMS芯片、ASIC芯片、键合线和外壳；所述外壳设为第一壳体和第二壳体，所述第二壳体设在第一壳体的外层，第一壳体上设有声孔A，第二壳体上设有声孔B，所述第一壳体上的声孔A上还有滤网；所述MEMS芯片和ASIC芯片分别通过粘合剂固定在PCB基板的底部；所述MEMS芯片、ASIC芯片和PCB基板之间通过键合线实现电气连接；第一壳体的一壁和第二壳体的上壁是成一体的，另一壁开设空腔结构，空腔结构设在第一壳体声孔A的下方，第二壳体的声孔B与声孔A在同一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种防异物MEMS麦克风，其特征在于：包括PCB基板、MEMS芯片、ASIC芯片、键合线和外壳；所述外壳设为第一壳体和第二壳体，所述第二壳体设在第一壳体的外层，第一壳体上设有声孔A，第二壳体上设有声孔B，所述第一壳体上的声孔A上还有滤网；所述MEMS芯片和ASIC芯片分别通过粘合剂固定在PCB基板的底部；所述MEMS芯片、ASIC芯片和PCB基板之间通过键合线实现电气连接；第一壳体的一壁和第二壳体的上壁是成一体的，另一壁开设空腔结构，空腔结构设在第一壳体声孔A的下方，第二壳体的声孔B与声孔A在同一侧。


2.根据权利要求1所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述声孔B成向下倾槽型。


3.根据权利要求2所述防异物MEMS...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立，王风波，
申请(专利权)人：深圳市富民微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44