一种MEMS麦克风封装机构制造技术

本实用新型专利技术属于微机电领域，尤其是一种MEMS麦克风封装机构，针对外界光线容易通过散射及衍射进入封装结构内部，影响封装内芯片的性能及外界的强气流容易进入封装结构内部，影响芯片的性能的问题，现提出如下方案，其包括金属座、壳体、MEMS芯片、气孔、容腔和防护装置，在遇到光线散热进入封装结构内部时，通过折射板对光线进行折射，吸光层对光线进行吸附，降低了光线对麦克风芯片性能的影响，透气层对强气流进行部分拦截，从而活动杆向下移动，带动第一缓冲弹簧及第二缓冲弹簧进行缓冲，从而降低了气流的传递效果，而通风槽及通风弯管的设置，改变气流的流向，从而削弱了气流的传播速度，提高了该设备的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风封装机构
本技术涉及微机电
，尤其涉及一种MEMS麦克风封装机构。
技术介绍
目前，随着人们对声学器件性能要求越来越高，其中，对于麦克风装置，人们对其信噪比、灵敏度以及声学性能都提出了更高的要求。麦克风的结构设计成为了本领域技术人员的一个研究重点，微机电系统是一种微型器件，常与集成电路芯片封装在麦克风中，MEMS芯片通过振膜感知声学信号，并与ASIC芯片连接，从而将声学信号转换为电信号。现已授权专利公开号为CN209267816U的“一种MEMS麦克风封装结构”中提到了外界光线容易通过散射及衍射进入封装结构内部，影响封装内芯片的性能，进而造成麦克风性能的降低，但是其解决方案只是改变光线的方向，只是降低了光线的强度，还是会有余光影响芯片性能，其次，外界的强气流容易进入封装结构内部，影响芯片的性能，进而造成麦克风性能的降低。
技术实现思路
本技术提出的一种MEMS麦克风封装机构，解决了外界光线容易通过散射及衍射进入封装结构内部，影响封装内芯片的性能及外界的强气流容易进入封装结构内部，影响芯片的性能的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种MEMS麦克风封装机构，包括金属座、壳体、MEMS芯片、气孔、容腔和防护装置，所述金属座的顶部固定安装有壳体，所述金属座的上表面中部固定安装有MEMS芯片，所述壳体的顶部中端开设有气孔，所述壳体的内部设有容腔，所述容腔内顶部安装有防护装置。所述防护装置包括固定板，所述固定板固定安装在容腔内顶部两侧，所述固定板的右侧活动连接有活动杆，所述活动杆的底端活动连接有透气层，所述透气层的底部连通有通风槽，所述通风槽的底部连通有通风弯管，所述固定板相对于活动杆的左侧活动连接有第一缓冲弹簧，所述活动杆的顶端固定安装有限位块，所述活动杆的顶部圆周上套设有第二缓冲弹簧，所述固定板相对于第一缓冲弹簧的内侧活动连接有折射板，所述折射板的上表面喷涂有吸光层。优选的，所述气孔开设在MEMS芯片的正上方，且金属座与壳体之间形成容腔。优选的，所述固定板固定安装在气孔的底部两侧，且固定板的顶部固定连接有壳体。优选的，所述活动杆贯穿并活动连接有壳体，且第二缓冲弹簧的底部活动连接在壳体的顶部。优选的，所述第一缓冲弹簧的顶部活动连接有固定板，第一缓冲弹簧的底部活动连接有透气层，第一缓冲弹簧的数量为两个，对称安装在气孔底部两侧。优选的，所述通风弯管的数量为若干个，且每个通风弯管的出风端均倾斜设置。本技术中，在遇到光线散热进入封装结构内部时，通过折射板对光线进行折射，而通过吸光层对光线进行吸附，从而降低了光线对麦克风芯片性能的影响，而透气层对强气流进行部分拦截，从而活动杆向下移动，带动第一缓冲弹簧及第二缓冲弹簧进行缓冲，从而降低了气流的传递效果，而通风槽及通风弯管的设置，改变气流的流向，从而削弱了气流的传播速度，从而降低了对麦克风芯片性能的影响，提高了该设备的使用寿命。附图说明图1为本技术提出的一种MEMS麦克风封装机构的结构示意图；图2为本技术提出的一种MEMS麦克风封装机构的防护装置结构示意图；图3为本技术提出的一种MEMS麦克风封装机构的折射板结构立体图。图中标号：1、金属座；2、壳体；3、MEMS芯片；4、气孔；5、容腔；6、防护装置；601、固定板；602、活动杆；603、透气层；604、通风槽；605、通风弯管；606、第一缓冲弹簧；607、限位块；608、第二缓冲弹簧；609、折射板；610、吸光层。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-3，一种MEMS麦克风封装机构，包括金属座1、壳体2、MEMS芯片3、气孔4、容腔5和防护装置6，金属座1的顶部固定安装有壳体2，金属座1的上表面中部固定安装有MEMS芯片3，壳体2的顶部中端开设有气孔4，壳体2的内部设有容腔5，气孔4开设在MEMS芯片3的正上方，且金属座1与壳体2之间形成容腔5，容腔5内顶部安装有防护装置6。防护装置6包括固定板601，固定板601固定安装在容腔5内顶部两侧，固定板601的右侧活动连接有活动杆602，固定板601固定安装在气孔4的底部两侧，且固定板601的顶部固定连接有壳体2，活动杆602贯穿并活动连接有壳体2，且第二缓冲弹簧608的底部活动连接在壳体2的顶部，活动杆602的底端活动连接有透气层603，透气层603的底部连通有通风槽604，通风槽604的底部连通有通风弯管605，通风弯管605的数量为若干个，且每个通风弯管605的出风端均倾斜设置，固定板601相对于活动杆602的左侧活动连接有第一缓冲弹簧606，第一缓冲弹簧606的顶部活动连接有固定板601，第一缓冲弹簧606的底部活动连接有透气层603，第一缓冲弹簧606的数量为两个，对称安装在气孔4底部两侧，活动杆602的顶端固定安装有限位块607，活动杆602的顶部圆周上套设有第二缓冲弹簧608，固定板601相对于第一缓冲弹簧606的内侧活动连接有折射板609，折射板609的上表面喷涂有吸光层610，通过折射板609对光线进行折射，而通过吸光层610对光线进行吸附，从而降低了光线对麦克风芯片性能的影响，而透气层603对强气流进行部分拦截，从而活动杆602向下移动，带动第一缓冲弹簧606及第二缓冲弹簧608进行缓冲，从而降低了气流的传递效果，而通风槽604及通风弯管605的设置，改变气流的流向。工作原理在遇到光线散热进入封装结构内部时，通过折射板609对光线进行折射，而通过吸光层610对光线进行吸附，从而降低了光线对麦克风芯片性能的影响，而透气层603对强气流进行部分拦截，从而活动杆602向下移动，带动第一缓冲弹簧606及第二缓冲弹簧608进行缓冲，从而降低了气流的传递效果，而通风槽604及通风弯管605的设置，改变气流的流向，从而削弱了气流的传播速度，从而降低了对麦克风芯片性能的影响，提高了该设备的使用寿命。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风封装机构，包括金属座(1)、壳体(2)、MEMS芯片(3)、气孔(4)、容腔(5)和防护装置(6)，其特征在于，所述金属座(1)的顶部固定安装有壳体(2)，所述金属座(1)的上表面中部固定安装有MEMS芯片(3)，所述壳体(2)的顶部中端开设有气孔(4)，所述壳体(2)的内部设有容腔(5)，所述容腔(5)内顶部安装有防护装置(6)；/n所述防护装置(6)包括固定板(601)，所述固定板(601)固定安装在容腔(5)内顶部两侧，所述固定板(601)的右侧活动连接有活动杆(602)，所述活动杆(602)的底端活动连接有透气层(603)，所述透气层(603)的底部连通有通风槽(604)，所述通风槽(604)的底部连通有通风弯管(605)，所述固定板(601)相对于活动杆(602)的左侧活动连接有第一缓冲弹簧(606)，所述活动杆(602)的顶端固定安装有限位块(607)，所述活动杆(602)的顶部圆周上套设有第二缓冲弹簧(608)，所述固定板(601)相对于第一缓冲弹簧(606)的内侧活动连接有折射板(609)，所述折射板(609)的上表面喷涂有吸光层(610)。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风封装机构，包括金属座(1)、壳体(2)、MEMS芯片(3)、气孔(4)、容腔(5)和防护装置(6)，其特征在于，所述金属座(1)的顶部固定安装有壳体(2)，所述金属座(1)的上表面中部固定安装有MEMS芯片(3)，所述壳体(2)的顶部中端开设有气孔(4)，所述壳体(2)的内部设有容腔(5)，所述容腔(5)内顶部安装有防护装置(6)；
所述防护装置(6)包括固定板(601)，所述固定板(601)固定安装在容腔(5)内顶部两侧，所述固定板(601)的右侧活动连接有活动杆(602)，所述活动杆(602)的底端活动连接有透气层(603)，所述透气层(603)的底部连通有通风槽(604)，所述通风槽(604)的底部连通有通风弯管(605)，所述固定板(601)相对于活动杆(602)的左侧活动连接有第一缓冲弹簧(606)，所述活动杆(602)的顶端固定安装有限位块(607)，所述活动杆(602)的顶部圆周上套设有第二缓冲弹簧(608)，所述固定板(601)相对于第一缓冲弹簧(606)的内侧活动连接有折射板(609)，所述折射板(609)的上表面喷涂有吸光层(610)。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海敏，刘兆柱，
申请(专利权)人：深圳市锐讯天成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44