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本实用新型属于微机电领域,尤其是一种MEMS麦克风封装机构,针对外界光线容易通过散射及衍射进入封装结构内部,影响封装内芯片的性能及外界的强气流容易进入封装结构内部,影响芯片的性能的问题,现提出如下方案,其包括金属座、壳体、MEMS芯片、气孔...该专利属于深圳市锐讯天成科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市锐讯天成科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于微机电领域,尤其是一种MEMS麦克风封装机构,针对外界光线容易通过散射及衍射进入封装结构内部,影响封装内芯片的性能及外界的强气流容易进入封装结构内部,影响芯片的性能的问题,现提出如下方案,其包括金属座、壳体、MEMS芯片、气孔...