一种MEMS结构制造技术

本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环体，所述外环体和所述第一内环体之间以及所述第一内环体内侧具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述第一内环体连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。本申请通过设置一个或多个内环体，缩短了悬臂梁从固定端到自由端的长度，从而降低了压电复合振动层的膜片翘曲的几率。使得压电复合振动层中的多个悬臂梁结构有效地提高了灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS结构
本申请涉及半导体
，具体来说，涉及一种MEMS(MicroelectroMechanicalSystems的简写，即微机电系统)结构。
技术介绍
MEMS传声器(麦克风)主要包括电容式和压电式两种。MEMS压电传声器是利用微电子机械系统技术和压电薄膜技术制备的传声器，由于采用半导体平面工艺和体硅加工等技术，所以其尺寸小、体积小、一致性好。同时相对于电容传声器还有不需要偏置电压，工作温度范围大，防尘、防水等优点，但其灵敏度比较低，制约着MEMS压电传声器的发展。而且，MEMS压电传声器的膜片尺寸较大时容易造成膜片翘曲。针对相关技术中如何提高压电式MEMS结构的灵敏度低和膜片容易翘曲的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的问题，本申请提出了一种MEMS结构，能够降低膜片翘曲的几率，并且提高灵敏度。本申请的技术方案是这样实现的：根据本申请的一个方面，提供了一种MEMS结构，包括：衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：/n衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环体，所述外环体和所述第一内环体之间以及所述第一内环体内侧具有空腔；/n压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述第一内环体连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：
衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环体，所述外环体和所述第一内环体之间以及所述第一内环体内侧具有空腔；
压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述第一内环体连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。


2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层包括沿所述第一内环体周向间隔排布的一个或多个第一膜片，所述第一膜片的固定端连接所述第一内环体，所述第一膜片的自由端朝向所述压电复合振动层的中心延伸。


3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层包括沿所述第一内环体周向间隔排布的一个或多个第二膜片，所述第二膜片的固定端连接所述第一内环体，所述第二膜片的自由端朝远离所述压电复合振动层的中心的方向延伸。


4.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述第二膜片的自由端在振动方向上的投影轮廓位于所述第二内环体内侧。


5.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述衬底还包括一个或多个第一支撑板，所述第一支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘端，
申请(专利权)人：安徽奥飞声学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34