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本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环体，所述外环体和所述第一内环体之间以及所述第一内环体内侧具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述第一...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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