MEMS压电器件及其制备方法，气压传感器、电子烟技术

本发明专利技术涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造，尤其涉及一种MEMS压电器件及其制备方法，气压传感器、电子烟。本发明专利技术MEMS压电器件包括：衬底；振动支撑层，形成于衬底外环体上方，并覆盖衬底背腔；下电极层，形成于振动支撑层上，分为：中心下电极层、外围下电极层；压电层，形成于下电极层上方；上电极层，形成于压电层上方，分为：中心上电极层、外围上电极层，两者分别与中心下电极层和外围下电极层相对应；其中，中心下电极层电性连接至外围上电极层；中心上电极层电性连接至外围下电极层。本发明专利技术通过将中心上电极层与外围下电极层导通，中心下电极层与外围上电极层导通，以消除MEMS压电器件热释电效应产生的电荷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造，尤其涉及一种mems压电器件及其制备方法，气压传感器、电子烟。

技术介绍

1、电子烟是一种模拟卷烟的电子产品，原理是将液态烟油加热产生雾状气溶胶吸入口中从而实现模拟吸烟的效果。吸烟时，烟气通道内产生负压，电子烟内部压力传感器在负压作用下形变而产生电信号，电子烟开始工作。不吸烟时，电子烟关闭。压电式压力传感器以其响应时间快、线性度高、防尘和防油的优点，在电子烟市场引起了广泛关注。

2、但是，压电材料在非等温条件下具有热释电效应。电子烟工作时，烟油加热和电子元器件发热，会使压电压力传感器处于非等温环境下，基于热释电效应产生电信号会干扰压力差产生的输出信号，从而造成误触发，影响电子烟的使用。

技术实现思路

1、一、要解决的技术问题

2、本专利技术期望能够至少部分解决上述技术问题中的其中之一。

3、二、技术方案

4、本专利技术第一方面提供了一种mems压电器件。该mems压电器件包括：衬底，包括：衬底外环体；衬底背腔，形本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS压电器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS压电器件，其特征在于，所述中心上电极层和外围上电极层两者在水平面投影的面积相同。

3.根据权利要求1所述的MEMS压电器件，其特征在于，在水平方向上，

4.根据权利要求1所述的MEMS压电器件，其特征在于，所述下电极层、上电极层两者的水平面投影落入所述衬底背腔的水平面投影内；且满足以下两种方式其中之一：

5.根据权利要求1所述的MEMS压电器件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的MEMS压电器件，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的M...

【技术特征摘要】

1.一种mems压电器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems压电器件，其特征在于，所述中心上电极层和外围上电极层两者在水平面投影的面积相同。

3.根据权利要求1所述的mems压电器件，其特征在于，在水平方向上，

4.根据权利要求1所述的mems压电器件，其特征在于，所述下电极层、上电极层两者的水平面投影落入所述衬底背腔的水平面投影内；且满足以下两种方式其中之一：

5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱雪峰，李冠华，刘端，
申请(专利权)人：安徽奥飞声学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：