一种用于高温退火炉的陶瓷承载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于高温退火炉的陶瓷承载板，包括长方形陶瓷承载板本体，所述承载板本体上表面中部开有格子形排气道，所述承载板本体上表面四边开有四条独立的排气槽，所述格子形排气道边缘与四条所述排气槽贯通连接；所述排气槽外边沿高度大于内边沿高度，所述内边沿上表面为由外向内向下倾斜的坡面，所述坡面与所述承载板本体上表面夹角为30～60°，所述坡面高度为1～5cm。本实用新型专利技术通过格子形排气道与排气槽配合，使排气道排出的气体通过排气槽返回，防止陶瓷承载板上部的玻璃基板发生漂移，排气槽的内边沿设置也可以增加玻璃基板漂移阻力，防止其漂移，进而防止玻璃基板漂移过程中发生破碎。

【技术实现步骤摘要】
一种用于高温退火炉的陶瓷承载板
本技术涉及半导体和平板显示器生产设备领域，特别涉及一种用于高温退火炉的陶瓷承载板。
技术介绍
高温退火炉是半导体和平板显示行业常用的设备，用于将玻璃基板上制作的电子器件在高温设备内进行长时间烘烤，以达到将半导体层内离子进行扩散或者释放应力等作用。特别是平板显示行业中常用的高温退火炉，因玻璃基板面积较大(玻璃面积一般为1800*1500mm)，所以承载玻璃用的承载板也较大。当整张玻璃基板与承载板(通常为石英或者陶瓷)接触时，由于玻璃与承载板之间残留有空气，容易使玻璃基板发生漂移，导致玻璃基板碎裂。另外，在烘烤过程中，因玻璃基板翘曲，烤炉中空气流动也会导致玻璃漂移。通常为了防止玻璃漂移会在陶瓷承载板四周设置阻挡块，但是这样容易使玻璃在漂移时撞碎。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术公开了一种用于高温退火炉的能够防止玻璃基板发生漂移的陶瓷承载板。本技术的技术方案为：一种用于高温退火炉的陶瓷承载板，包括长方形陶瓷承载板本体，所述承载板本体上表面中部开有格子形排气道，所述承载板本体上表面四本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于高温退火炉的陶瓷承载板，包括长方形陶瓷承载板本体，其特征在于：所述承载板本体上表面中部开有格子形排气道，所述承载板本体上表面四边开有四条独立的排气槽，所述格子形排气道边缘与四条所述排气槽贯通连接；所述排气槽外边沿高度大于内边沿高度，所述内边沿上表面为由外向内向下倾斜的坡面，所述坡面与所述承载板本体上表面夹角为30～60°，所述坡面高度为1～5cm。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于高温退火炉的陶瓷承载板，包括长方形陶瓷承载板本体，其特征在于：所述承载板本体上表面中部开有格子形排气道，所述承载板本体上表面四边开有四条独立的排气槽，所述格子形排气道边缘与四条所述排气槽贯通连接；所述排气槽外边沿高度大于内边沿高度，所述内边沿上表面为由外向内向下倾斜的坡面，所述坡面与所述承载板本体上表面夹角为30～60°，所述坡面高度为1～5cm。

【专利技术属性】
技术研发人员：黄福田，魏博，宋旗东，
申请(专利权)人：烟台盛鑫金属表面技术有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37