一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟制造技术

技术编号:24960191 阅读:31 留言:0更新日期:2020-07-18 03:08
本实用新型专利技术涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。它包括有两片平行间隔设置的侧板,两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板,两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒,同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接,所述两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置,两侧板的内侧壁和支撑肋板两侧壁上除去镂空区域均设有若干条水平等间距分布的石英舟开槽。由于两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置,硅片的四周均可与磷源充分接触,因此本实用新型专利技术的磷扩散的均匀性较好,同时侧板与支撑肋板的上下侧固定有起到加强作用的顶部支撑棒和底部支撑棒,整体的承载能力得到提升。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟
本技术涉及一种石英舟,尤其是涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。
技术介绍
石英舟广泛应用于光伏电池的生产行业中,它是一种用于盛放硅电池片的支架,并且应用与硅电池片磷扩散的工序中。石英舟整体由石英玻璃制成,因此整体强度较脆,易断裂,不适合承载较重的物体。而目前采用大尺寸硅片降低电池成本已成为趋势,由于大尺寸硅片较重,常规石英舟采用菱形插片及垂直插片导致中间部易断裂,且目前这种方法磷扩散的均匀性较差。
技术实现思路
本技术提供了一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟;解决现有技术中存在承重能力较差且磷扩散的均匀性较差的问题。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟,其特征在于:包括有两片平行间隔设置的侧板,两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板,两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒,同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接,所述两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置,两侧板的内侧壁和支撑肋板两侧壁上除去镂空区域均设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟,其特征在于:包括有两片平行间隔设置的侧板(1),两片侧板(1)之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板(2),两片侧板(1)的上下侧分别固接有顶部支撑棒(3)和底部支撑棒(4),同时支撑肋板(2)的上下侧也与顶部支撑棒(3)、底部支撑棒(4)固接,两侧板(1)和支撑肋板(2)的中部区域为镂空设置,两侧板(1)的内侧壁和支撑肋板(2)两侧壁上除去镂空区域均设有若干条水平等间距分布的石英舟开槽(5),所述两片侧板(1)的外侧壁上设有两根等高等长的抓取杆(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟,其特征在于:包括有两片平行间隔设置的侧板(1),两片侧板(1)之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板(2),两片侧板(1)的上下侧分别固接有顶部支撑棒(3)和底部支撑棒(4),同时支撑肋板(2)的上下侧也与顶部支撑棒(3)、底部支撑棒(4)固接,两侧板(1)和支撑肋板(2)的中部区域为镂空设置,两侧板(1)的内侧壁和支撑肋板(2)两侧壁上除去镂空区域均设有若干条水平等间距分布的石英舟开槽(5),所述两片侧板(1)的外侧壁上设有两根等高等长的抓取杆(6)。


2.根据权利要求1所述的适用于大尺寸硅片的水平石英舟,其特征在于:所述石英舟开槽(5)的开口为扩口设...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴慧敏林纲正陈刚
申请(专利权)人:浙江爱旭太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1