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本实用新型涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。它包括有两片平行间隔设置的侧板,两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板,两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒,同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接,所述两侧...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。它包括有两片平行间隔设置的侧板,两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板,两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒,同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接,所述两侧...