一种调整结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种调整结构，包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接；本实用新型专利技术提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整结构。

【技术实现步骤摘要】
一种调整结构
本技术涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体或光伏材料加工设备的调整结构。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。目前相应设备的炉门密封是靠密封板与炉框相接触的方式进行密封，且密封板为卡扣式，即密封板通过卡扣固定在炉门上，在炉门密封不严时，操作人员通过敲打卡扣的方式使密封板前进进行密封，但是，经过长时间使用，密封板与炉框相接触的位置磨损严重，再通过密封板对炉门与炉框进行密封的时候，就会出现密封不严的情况，从而导致炉门冒烟，影响环境卫生，同时还会对企业经济效益和社会效益造成严重的影响。
技术实现思路
本技术克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整结构。本技术的技术方案如下：一种调整结构，包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接。进一步的，调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向是非平行关系。进一步的，调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向为垂直关系。进一步的，炉门中心设置连接部与调整装置本体连接，连接部上设置与旋钮件匹配的通孔。进一步的，连接部整体呈圆柱形，连接部远离炉门的一端设置导角。进一步的，调整装置本体靠近炉门中心的一端设置连接孔，连接孔越靠近炉门，连接孔的内径越大；或者连接孔越远离炉门，连接孔的内径越大。进一步的，调整装置本体整体采用长方体，调整装置远离炉门中心的一端设置控制调整装置本体转动的旋件。进一步的，旋件周围设置固定件，固定件采用螺栓固定。进一步的，旋件远离调整装置本体的一端设置调整件，另一端固定在调整装置本体上；调整件套接在旋件上，固定旋件。进一步的，调整件与旋件之间的接触面采用凹凸面来固定旋件。本技术的优点在于：本方案结构简单、调整方便，容易推广使用，通过调整装置本体的调节调整炉门为一个维度，旋钮件的辅助调整炉门为另一个维度，从而实现炉门的调整，以配合炉体达到真空密封效果。两者维度为垂直关系时，更能实现高效、便捷的进行炉门的调整，达到炉门与炉体结合的良好密封效果。旋钮件不仅可以当作调整炉门一个维度的结构，亦可实现炉门与调整装置本体的连接。本方案在连接部上设置与旋钮件匹配的通孔，提供旋钮件转动微调炉门的空间。连接部的一端上设置导角，实现便于快速安装炉门与调整装置本体连接的作用。连接孔的直径是变化的，其最小的地方作为固定点，其它位置提供炉门可以微调的空间。调整件与旋件之间的接触面采用凹凸面来进行加固旋件。具体本方案通过在旋件上设置调整件来进行控制旋件，调整件也采用采用可夹紧旋件的器件，固定旋件后再转动，从而实现该维度的控制调整。其中旋钮件可与气缸连接进行控制，实现智能微调。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的剖面图；图3为本技术的爆炸图。图中标识：炉门2-11、连接部2-12、调整装置本体2-13、连接孔2-14、旋钮件2-15、旋件2-16、固定件2-17、调整件2-18。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例一：如图所示，一种调整结构，包括调整装置本体2-13、设置在调整装置本体2-13上的旋钮件2-15，调整装置本体2-13与炉门2-11通过旋钮件2-15连接。调整装置本体2-13形成作为调整炉门2-11的一个维度，旋钮件2-15作为辅助调整炉门2-11的另一个维度，从而实现炉门2-11的调整，以配合炉体达到真空密封效果。具体的调整装置本体2-13的轴向与旋钮件2-15的轴向是非平行关系，即相互存在交点，可以形成两个维度的调整，达到炉门2-11姿势变化进行微调的需要。作为优选，调整装置本体2-13的轴向与旋钮件2-15的轴向为垂直关系，实现相对更高效、便捷的调整炉门2-11。炉门2-11中心设置连接部2-12与调整装置本体2-13连接，连接部2-12上设置与旋钮件2-15匹配的通孔，提供旋钮件2-15转动微调炉门2-11的作用。具体的可在旋钮件2-15上设置螺纹，且旋钮件2-15此端整体采用跑道状。连接部2-12整体呈圆柱形，连接部2-12远离炉门2-11的一端设置导角，实现炉门2-11与调整装置本体2-13快速的安装固定。其中旋钮件2-15不仅可以当作调整炉门2-11一个维度的结构，也实现炉门2-11与调整装置本体2-13的连接。调整装置本体2-13整体采用长方体，也可以是椭圆形柱，菱形柱或不规则图形柱等，只要能实现调整装置本体2-13作为调整炉门2-11的一个维度，而调整装置本体2-13上有可以作为另一个维度调整炉门2-11的空间结构即可。具体的调整装置本体2-13靠近炉门2-11中心的一端设置连接孔2-14，连接孔2-14靠近炉门2-11的一端，连接孔2-14的直径最大；或者连接孔2-14远离炉门2-11的一端，连接孔2-14的直径最大。通过连接孔2-14变化的内径提供炉门2-11微调的空间，即连接孔2-14内径最小的地方作为固定点，连接孔2-14其它位置提供炉门2-11微调空间。调整装置本体2-13远离炉门2-11中心的一端设置控制调整装置本体2-13转动的旋件2-16，旋件2-16周围设置固定件2-17，固定件2-17采用螺栓、铆钉或焊接的方式进行固定，实现对调整装置本体2-13的固定，确保炉门2-11的稳固调整。旋件2-16的转动来实现调整装置本体2-13这一维度的控制。实施例二：其与实施例一基本相同，不同处在于，旋件2-16远离调整装置本体2-13的一端还设置调整件2-18，旋件2-16另一端固定在调整装置本体2-13上。其中调整件2-18套接在旋件2-16上，调整件2-18固定旋件2-16，且调整件2-18与旋件2-16之间的接触面采用凹凸面来进行加固旋件2-16，或以通过其它增加摩擦力的方式或相应卡接结构的方式进行固定连接。实现在旋件2-16上设置调整件2-18来进行控制旋件2-16。调整件2-18本身也可是采用夹紧旋件2-16，固定住本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调整结构，其特征在于：包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种调整结构，其特征在于：包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接。


2.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向是非平行关系。


3.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：炉门中心设置连接部与调整装置本体连接，连接部上设置与旋钮件匹配的通孔。


4.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：调整装置本体靠近炉门中心的一端设置连接孔，连接孔靠近炉门的一侧，连接孔直径最大；或者连接孔越远离炉门的一侧，连接孔的直径最大。


5.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：调整装置远离炉门中心的一端设置控制调整装置本体转动的旋件。


6.根据权利要求5所述的一种调整结构，其特征在于：旋件周...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘群，徐栋，林佳继，朱太荣，庞爱锁，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44