【技术实现步骤摘要】
一种调整结构
本技术涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体或光伏材料加工设备的调整结构。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。目前相应设备的炉门密封是靠密封板与炉框相接触的方式进行密封，且密封板为卡扣式，即密封板通过卡扣固定在炉门上，在炉门密封不严时，...
【技术保护点】
1.一种调整结构，其特征在于：包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种调整结构，其特征在于：包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接。
2.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向是非平行关系。
3.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：炉门中心设置连接部与调整装置本体连接，连接部上设置与旋钮件匹配的通孔。
4.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：调整装置本体靠近炉门中心的一端设置连接孔，连接孔靠近炉门的一侧，连接孔直径最大；或者连接孔越远离炉门的一侧，连接孔的直径最大。
5.根据权利要求1所述的一种调整结构，其特征在于：调整装置远离炉门中心的一端设置控制调整装置本体转动的旋件。
6.根据权利要求5所述的一种调整结构，其特征在于：旋件周...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘群，徐栋，林佳继，朱太荣，庞爱锁，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。