【技术实现步骤摘要】
一种靶管金属化的防氧化装置
本技术涉及一种靶材绑定金属化后的防氧化装置。
技术介绍
靶管的种类是多样的，有金属管（钼靶管、钨靶管、铝靶管）和陶瓷管（ITO靶材、氧化铝靶材以及碳化硅靶材等等），由于靶管和内衬管材质不同，靶管和钎料属于不同材质，在靶管与钎料润湿性不够的情况下，易产生与钎料的脱落，从而导致靶材镀膜溅射使用过程中的导电性不好，导热性能差，甚至出现靶材开裂等情况。目前采用的靶管金属化的方法，是采用人工手持超声波涂铟机头，进行涂铟的方法，且涂铟后，如果不对涂铟后的金属化层加以保护的话，靶管金属化层会出现氧化情况，由镜面光亮程度逐渐变暗，影响靶管金属化层和钎料的润湿性，出现电导率不良，对后续镀膜溅射产生影响。现有装置中未见有靶材绑定金属化后专用于防氧化的装置，故靶材金属化后容易出现氧化现象，影响靶管质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种靶管金属化的防氧化装置，该装置能够对金属化后的靶管进行防氧化处理，结构设计合理，操作简单，可以有效地解决靶管经现有金属化装置涂铟后，金...
【技术保护点】
1.一种靶管金属化的防氧化装置，其特征在于：包括箱体、靶管托和两个用于密封靶管托两端的密封抽板，所述箱体内开设有靶管托放置孔，所述箱体两端面上分别设置有导向定位凸板，所述靶管托为由两个半圆管构成的管状结构，靶管托两端面分别设置有手柄，靶管托放置在靶管托放置孔内，每个半圆管的靶管托内还连接有橡胶层，所述导向定位凸板是由面板和导向杆构成，导向杆一端与面板连接，另一端固定在箱体上，其中一个密封抽板上开有通气孔，密封抽板上还开设有两条滑道，密封抽板通过滑道安装在导向定位凸板的导向杆上。/n
【技术特征摘要】
1.一种靶管金属化的防氧化装置，其特征在于：包括箱体、靶管托和两个用于密封靶管托两端的密封抽板，所述箱体内开设有靶管托放置孔，所述箱体两端面上分别设置有导向定位凸板，所述靶管托为由两个半圆管构成的管状结构，靶管托两端面分别设置有手柄，靶管托放置在靶管托放置孔内，每个半圆管的靶管托内还连接有橡胶层，所述导向定位凸板是由面板和导向杆构成，导向杆一端与面板连接，另一端固定在箱体上，其中一个密封抽板上开有通气孔，密封抽板上还开设有两条滑道，密封抽板通过滑道安装在导向定位凸板的导向杆上。
2.根据权利要求1所述的一种靶管金属化的防氧化装置，其特征在于：所述密封抽板上设置有把手。
3.根据权利要求1或2所述的一种靶管金属化的防氧...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈标，郭朋，刘所心，段宇龙，
申请(专利权)人：广西晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：广西;45
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