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本实用新型涉及一种靶管金属化的防氧化装置,包括箱体、靶管托和两个用于密封靶管托两端的密封抽板,箱体内开设有靶管托放置孔,箱体两端面上分别设置有导向定位凸板,靶管托为由两个半圆管构成的管状结构,靶管托两端面分别设置有手柄,靶管托放置在靶管托放...该专利属于广西晶联光电材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过广西晶联光电材料有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种靶管金属化的防氧化装置,包括箱体、靶管托和两个用于密封靶管托两端的密封抽板,箱体内开设有靶管托放置孔,箱体两端面上分别设置有导向定位凸板,靶管托为由两个半圆管构成的管状结构,靶管托两端面分别设置有手柄,靶管托放置在靶管托放...